ECRプラズマ装置でDLC膜の作製

ECRプラズマ装置を使ってDLC薄膜を作製（研究）しようと考えているのですが、ECRプラズマ装置ではコストがかかるため、やる意味がないと指摘されました。
まだこの分野に入って日が浅いため、どのような利点があるのか分かりませんが、ECR装置を用いてDLC膜を作ることに利点はないのでしょうか？

No.1 ベストアンサー 回答者： tetujin3 回答日時： 2003/06/05 08:16

何をもってコストとしているのか良く分りません。

事業化する場合，装置のイニシャルコストのことでしょうか？確かに，ECRを使用してDLC薄膜の試作は，ターゲットにグラファイトを用いた研究などに限られており，また，皮膜の制御性などにも問題がありそうです。
しかし，だからこそ，研究が必要で，これによってオリジナリティの高い研究ができるのではないでしょうか？
プラズマCVD法などと比べて，確かにランニングコストも高いですが，ガス代や電気代などは微々たるものと思います。これが，ECR法を否定する真の理由にはならないと思います。
だれも，やってないプロセスこそ，面白みがあるのでは？もちろん，後悔することになるかもしれませんが・・・・

この回答へのお礼

ありがとうございます。
よく考えた上で決めていきたいと思います。

お礼日時：2003/06/06 17:10