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反応性スパッタリングという物に携わっている者なのですが
ArガスとN2ガスの分圧が出せなくて困っています
既知なものは

各ガス流量(ml/min)
真空槽内の全圧(Pa)

単純にガス流量の比で全圧を割るのでしょうか?
気体の状態方程式で算出できるかと思って色々がんばりましたが
これだという答えはでませんでした 頭悪いもので(笑)

どなたかよろしくお願いします

A 回答 (2件)

たびたび、追加(^^;



ふと思ったのですが

・ガス流量xはチャンバー内のガス量に比例する。
・ある気体の分圧はガス量に比例する。

つまり、ガス流量はチャンバー内のガスの分圧に比例する。

単純計算すると

PV=nRT でT, Vは一定、Rは定数
P=P1+P2
P1:P2=x1:x2

気体1の分圧は
P1=[x1/(x1+x2)]×P

となりませんか?

間違えてたら補足してください
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ん~、私もスパッタやってました(笑)



ガス流量比をmol比になおすと言う方法もいいと思います。

あとはガスを入れるときに
Arガス x Pa
を流したあとに(このときの全圧はx Pa)
N2ガス流入させ希望する全圧までもっていく。

当然、

全圧-x=y

yはN2の分圧

となるわけです。

分かったでしょうか?

他にもプラズマの発光を分光させ、ある波長の光の強度を測る装置を用いて(ある元素はある固有波長の発光をすることはご存じと思います)その強度から分圧を求めると言った方法も考えられますが……装置が必要です(笑)

そんなところでしょうか
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この回答へのお礼

おお スパッタの先輩だ!((泣))
うちにある装置不便なことに分圧を表示しないんです!
ガスを圧でなく流量で示している文献なんてないですよね(笑)

上の説明よくわかりました! ありがとうございます!

ちなみにマグネトロンスパッタリング法でTiN膜付けてます
スパッタの先輩とは心強いです また見かけたらアドバイスお願いします!

P.S 補足要求とありましたが何かあったでしょうか?
   具体的に言って頂ければ補足します!!

お礼日時:2001/04/03 00:36

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