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No.1
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こんにちは。
ＳＰＭは硫酸と過酸化水素水の混合液で「硫酸過水」とも呼ばれます。
http://www.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/index.ph …
ＳＣ－１、ＳＣ－２、硫酸過水については、こちら。（漢字を硫酸「加」水に間違えてますが）
http://semiconductor.seesaa.net/article/124159.h …
ＢＨＦ（緩衝弗酸）は仕事でよく扱ったので知っています。ＳｉＯ2 あるいはその類（ガラス、ＰＳＧ、ＢＰＳＧとか）のエッチングに使います。
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