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半導体工場のWET Processでは

SC-1
SC-2
SPM
BHF

など使用されていると思います。

これらそれぞれの用途はなんですか?

ご存知の方いらっしゃいましたらご教授いただけませんでしょうか。

よろしくお願いいたします。

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A 回答 (1件)

こんにちは。



SPMは硫酸と過酸化水素水の混合液で「硫酸過水」とも呼ばれます。
http://www.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/index.ph …

SC-1、SC-2、硫酸過水については、こちら。(漢字を硫酸「加」水に間違えてますが)
http://semiconductor.seesaa.net/article/124159.h …


BHF(緩衝弗酸)は仕事でよく扱ったので知っています。SiO2 あるいはその類(ガラス、PSG、BPSGとか)のエッチングに使います。
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