半導体工場で使用される薬液について

半導体工場のＷＥＴ　Ｐｒｏｃｅｓｓでは

SC-1
SC-2
SPM
BHF

など使用されていると思います。

これらそれぞれの用途はなんですか？

ご存知の方いらっしゃいましたらご教授いただけませんでしょうか。

よろしくお願いいたします。

No.1 回答者： sanori 回答日時： 2011/03/08 04:55

こんにちは。

ＳＰＭは硫酸と過酸化水素水の混合液で「硫酸過水」とも呼ばれます。
http://www.fujita3.iis.u-tokyo.ac.jp/ja/index.ph …

ＳＣ－１、ＳＣ－２、硫酸過水については、こちら。（漢字を硫酸「加」水に間違えてますが）
http://semiconductor.seesaa.net/article/124159.h …


ＢＨＦ（緩衝弗酸）は仕事でよく扱ったので知っています。ＳｉＯ2 あるいはその類（ガラス、ＰＳＧ、ＢＰＳＧとか）のエッチングに使います。