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冷凍機の冷媒としては、HFC134a(CH2FCF3)を始めとするHFC(ハイドロフロロカーボン)類や、炭化水素のシクロペンタン((CH2)5)やイソブタン((CH3)3CH)があります。
スプレー用のガスとしては、LPG(液化石油ガス:主成分はブタンとプロパン)があります。
半導体産業等の特殊な用途向けの洗浄剤としては、テトラフロロメタン(CF4)を始めとするPFC(パーフルオロカーボン)類や、APM(アンモニア+過酸化水素+水)やHPM(塩酸+過酸化水素+水)等を始めとする特殊な水系洗浄剤があります。
ウレタンフォーム用発泡剤としては、HFCの一種であるHFC-245fa(CHF2CH2CF3)等があります。
【参考URL】
フロン類 - Wikipedia
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%83%95%E3%83%AD% …
代替フロン - Wikipedia
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E4%BB%A3%E6%9B%BF% …
フロンとハロン
http://home.hiroshima-u.ac.jp/kyam/pages/results …
特定フロン(CFC/HCFC)およびフルオロカーボン類の環境・安全データ一覧表
http://www.jfma.org/database/table.html
オゾン層破壊物質と温室効果ガスの関係
http://www.env.go.jp/council/06earth/y060-31/ref …
JEMA自主基準 炭化水素系冷媒使用の家庭用電気冷蔵庫について
http://www.jema-net.or.jp/Japanese/ha/reibai/qa. …
シクロペンタン- Wikipedia
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%82%B7%E3%82%AF% …
イソブタン- Wikipedia
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%82%A4%E3%82%BD% …
液化石油ガス - Wikipedia
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E6%B6%B2%E5%8C%96% …
四フッ化炭素 - Wikipedia
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E5%9B%9B%E3%83%95% …
平成18年度 特許出願技術動向調査報告書 半導体洗浄技術
http://www.jpo.go.jp/shiryou/pdf/gidou-houkoku/1 …
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