No.3ベストアンサー
- 回答日時:
もしかしららカセットテープなどに使われているDCモータ
速度制御ICが使えるかもしれません。下記リンクを見てみてください。(廃止品ですが千石電商http://www.sengoku.co.jp/
で\70で購入できます。)これはDCモータから速度に比例(かな??)して発生する逆起電力を検出してモータ回転速度をコントロールするのもです。千石のHPではファンの速度制御用ICも出ていたので参照してみてください。
ただし使うモータによって回路定数を算出する類の作業が必要になります。
参考URL:http://service.semic.sanyo.co.jp/semi/dis_pdf_j/ …
情報、ありがとうございました。
早速HPを見ました。関連のHPを検索しても見ました。
トルクが途中で変わるわけでもないので、ただ電源電圧を変えられればなんとかなりそうだということがわかりました。
No.2
- 回答日時:
一番簡単なのが模型用のDCモーターと可変電圧の電源で構成する方法ですが、回転数の安定度には問題があるかもしれませんが、スピンコートに使用するのであれば負荷の変動はあまり大きくないので、実用にならないこともないかもしれません。
次にヒステリシス型(周波数同期型)のインダクションモーターを使用し、インバーターにより回転数を制御する方法です。この方法はかなり実用的でもあると思いますし、FG(フリケンシージェネレーター)や光学式の検出機を用いてフィードバックをかければサーボ制御も可能です。回転数の精密な制御は考えておりませんで、大まかに回転が速いか遅いか、ほどよい成膜ができる程度に制御できればと考えてました。
ひとつは、DCモータを使って、DC電源で電圧を変えられるような回路を作ればよいわけですね。
No.1
- 回答日時:
同じ様なことをやっていましたので、一つアドバイスを。
有効な方法なのかどうかはわかりませんが、私はPWM制御
(モーターにかける電源パルスのONとOFFの比率により制御)
という方式でモーターを制御し、光学式の回転数計(回転部
に反射板を貼り付ける、ペンライトのような計測器。)を
使用して回転数を計測していました。
ロータリーエンコーダなどのついたモーターを使えば、もっ
とスマートな回転数制御が出来ますが、そういったモーター
は割と高価ですので。
電源は実験室にあるような通常のDC電源を使用します。
PWMに付いては、専用のICもありますし、検索をかけても
沢山ヒットすると思いますので、一度参照してみて下さい。
#恐らく、膜生成を行われると思うのですが、テーブル部分
#や基板を固定する部分に予想以上の精度が必要になると思
#います。
ご回答、ありがとうございます。
テーブル部分や、取り付けフレームの工作はなんとかなりそうなのですが、肝心のモーター制御がわからなくって困っておりました。
PWMについて調べてみたいと思います。
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