プラズマ軟窒化とはどういった処理でしょうか?父が知りたいそうです。熱処理だと言うことはわかっているのですが、具体的にどんな処理か教えてください。

A 回答 (1件)

専門外ですが、以下の参考URLサイトは参考になりますでしょうか?


「表面処理一覧表」
http://plaza.across.or.jp/~gotou-no/netsusyori.htm
(プラズマ軟窒化)

ご参考まで。

参考URL:http://www.parker.co.jp/HAMANETSU/listx.html
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この回答へのお礼

ありがとうございました。たすかりました。

お礼日時:2001/12/05 22:22

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Aベストアンサー

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参考URL:http://4travel.jp/traveler/kyon2/album/10303856/

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詳細に系を検討してみれば分かることだと思うのですが。

Q坑うつ剤

坑うつ剤

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本来、抗鬱剤にアッパー系やダウナー系といった区分は医学、薬学的には無いのですが・・・。
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Q窒化ストロンチウムに関して

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Aベストアンサー

これ位しかないです、↓輸入できないと思うが(水と反応するから航空機に積めない)
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よろしくお願いいたします。

Aベストアンサー

微妙ですが дья と дя では発音が違います。前者は「ヂヤ」後者は「ヂャ」発音記号では дья [d'ja], дя [d'a] です。дя が [dja] でないことに注意してください。
ъ が別名分音符と言われますが、ь も分音符として機能します。семья と семя の違いもアクセント位置だけでなく前者は [m'] と [ja] の間に切れ目があります。

ロシア語の軟母音字には二つの役割があり、単独では半子音 [j] を伴った母音(и だけは単独でも [i] と発音されます。強調されたとき [ji] となることもあるようです)、子音字の後ろに来るときは “子音を軟音化し自身は母音だけ” となります。дя が [dja] ではなく [d'a] というのはこのことです。дья において я の直前に子音字はありませんから я はそれ自身 [ja] の音を持ち、д は ь によって軟音化されています。一つの文字が場所によって二つの音価を持つというロシア語の綴りの不備な点です。

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дьявол (diabolos**)
брильянт (brilliant***)
Вильямс (Williams)

-ia- のところで i が独立した母音で i+a と2音節をなさず半母音の [j] に近くなっているときこれを写そうとすると ия と я の中間的な ья となるのも頷けます。
(* семья がこうなった由来は分かりませんが、ь は(ъ も)元はれっきとした母音字ですからもともとあった母音が弱まった結果かもしれません)
(** 古典ギリシア語では ia は [ja] となりませんが時代が下ってくると [ja] になりました)
(*** бриллиант というロシア語としてはやや不自な綴りもあります。特に иа の部分)

微妙ですが дья と дя では発音が違います。前者は「ヂヤ」後者は「ヂャ」発音記号では дья [d'ja], дя [d'a] です。дя が [dja] でないことに注意してください。
ъ が別名分音符と言われますが、ь も分音符として機能します。семья と семя の違いもアクセント位置だけでなく前者は [m'] と [ja] の間に切れ目があります。

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Q【半導体】熱処理(拡散)で処理するデポとドライブインについて・・

こんにちは。お世話になります。。
では唐突ながらお尋ねします。

★熱処理(拡散)で処理するデポとドライブインについてなのですが、
不純物を混入する工程で
アニールで満遍なく・・

★縦型炉より横型炉のほうが温度が高くなる性質がある・・

★横型炉にウエハを入れる場合、時間をかけないとウエハ自体、変形してしまう。

★高純度の石英ガラスを使う・・

ということを専門書で知りました。
ご存知の方
くわしくご教授おしえてくださいませ。。

Aベストアンサー

詳しくは説明できませんが・・・。

デポジッション:所定の不純物濃度をシリコン表面に付着させる工程。
ドライブイン:所定の不純物分布と拡散深さを得るための工程。
ですよね。つまりデポで不純物の量を決定し、ドライブインで拡散深さを決める。

初期は横型を使用してました。理由は処理枚数の多さとウェハーは垂直配置の為、自重による応力にも強かったため。しかし、大気の巻き込みや炉内雰囲気や断面灼熱の制御の困難性がネックとなり、改善の為に縦型が開発されました。ロードロックシステムを採用し、大気の巻き込みを防止し、石英チューブとボードの間隔の縮小でコンパクト化が可能になりました。しかし、ウェハー保持を端部の3,4点で支持するために応力を受けやすく、低温化で改善を進めている。ゆえに横型の方が高くなると言うよりも、横型を低くしないと影響を受けやすいからだと思います。

また高純度の石英ではなく、低純度の石英の場合、雰囲気で反応してしまうからだと思います。


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