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SEMを使うとき、高倍率でみるときに像が流れていかないようにstigmaを調整すると聞きました。
でも、なぜ像が流れるのか、stigmaを調整するとは具体的に何をしているのかがわかりません。
詳しく図解しているサイトなどあれば教えてください。

A 回答 (1件)

非点収差調整 = stigma調整 です。



電子ビームは磁場のレンズで収束させますが、X方向とY方向とで収束に差があることを非点収差と言います。

構造(2.4項、図7、図8を参照)
(pdfファイル)
http://tech-staff.yz.yamagata-u.ac.jp/kyozai/fe- …

調整方法(ムービーで解説)
http://tech-staff.yz.yamagata-u.ac.jp/kyozai/gak …
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この回答へのお礼

回答ありがとうございます。
すっきりとはいきませんがなんとなくわかった気になりました。

お礼日時:2007/06/10 23:17

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