SEMのstigma調整って何ですか

SEMを使うとき、高倍率でみるときに像が流れていかないようにstigmaを調整すると聞きました。
でも、なぜ像が流れるのか、stigmaを調整するとは具体的に何をしているのかがわかりません。
詳しく図解しているサイトなどあれば教えてください。

No.1 ベストアンサー 回答者： sanori 回答日時： 2007/06/09 17:40

非点収差調整　＝　stigma調整　です。

電子ビームは磁場のレンズで収束させますが、Ｘ方向とＹ方向とで収束に差があることを非点収差と言います。

構造（２．４項、図７、図８を参照）
（ｐｄｆファイル）
http://tech-staff.yz.yamagata-u.ac.jp/kyozai/fe- …

調整方法（ムービーで解説）
http://tech-staff.yz.yamagata-u.ac.jp/kyozai/gak …

この回答へのお礼

回答ありがとうございます。
すっきりとはいきませんがなんとなくわかった気になりました。

お礼日時：2007/06/10 23:17