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真空装置イオンポンプについて

締切済

  • 質問者：ureka7
  • 質問日時：
  • 回答数：1件

真空装置イオンポンプについて

イオンポンプにはチタンのゲッター作用を利用しているのですが、
ゲッター作用とはどういう原理なんですか？
教えてください。
回答よろしくお願いします。

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A 回答 (1件)

No.1

  • 回答者： vingbing
  • 回答日時：

十分な真空度になったあとでチタンを昇華させてチタンの清浄面をつくり、そこに気体分子を吸着させてより高い真空度を獲るものです。

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この回答へのお礼

ご回答ありがとうございます。
参考にさせていただきます。
本当にありがとうございました。

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お礼日時：2010/06/21 14:14

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