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No.1
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薄膜の物性は密度や表面粗さや基板との接着性など
種々のパラメーターが影響しますので詳細は第2版の
薄膜ハンドブックを参照してください。
http://shop.ohmsha.co.jp/shopdetail/000000000986/
物性測定の具体的な方法も記載されています。
再現性のある物性値が求められると良いと思います。
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