スパッタリングを用いた半導体の配線で、高いアスペクト比の孔や溝の底部
側壁で膜厚が薄くなる現象であるシャドウイングの物理的な現象を
分かりやすく教えてもらえませんか。
また、勉強し始めたばかりなので、銅配線関係の入門書などあれば、
紹介していただけたら、有り難いです。
宜しくお願いします。

A 回答 (1件)

回答がないようなので、一般人ですが...



> シャドウイングの物理的な現象
単純に斜めから入射する粒子が底までいかず、入り口を塞いでしまう現象では?

> 銅配線関係の入門書
入門書は分かりませんが、Cu、ダマシンあたりで検索すると糸口がみつかるかも。

参考URL:http://www.jpo.go.jp/ryutu/map/kagaku16/4/4-3.htm
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次の数字は何を表しているでしょうか?
(ヒント→馴染みのあるもの、電池より太陽、リンリンよりピピピ、だそうです)

123567
134567
123567
4
23456
367
367
1467
4
34567
123567
123457
367


です。宜しくお願いします

Aベストアンサー

こんばんは。

それは、携帯電話の番号です。
数字が電卓のデジタル表示になっています。

□□□□□
□□?□□
□?□?□
□?□?□
□□4□□
□2□?□
□2□?□
□□?□□
□□□□□

123567 ⇒ 0
134567 ⇒ 9
123567 ⇒ 0
4 ⇒ -

全部書くとまずいので、以下は、やめておきます。

Q100ボルト配線のガス管との並列配線距離(センチ)

電工2種免許持っていますが、表記工事の距離間隔を忘れましたのでお願いします。
ガス管にくっつけて沿わしても良かったか?

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ばっくりですが、
碍子引き工事なら10センチ
10センチ以下の場合は絶縁性の隔壁を堅牢に取り付ける。
それ以外の場合は接触しなければokです。
接触する場合は電技解釈を見ると絶縁性の隔壁を堅牢に設ける。

#1の方のURLで示されている電技解釈なら189条になります。

今年の7月に改訂になったので新しい電技解釈では167条になります。

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うまく説明出来なくてすみません...。

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ちなみに、サブリミナル効果は学会では完全否定に近い状況です

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あれはどうやって測定しているのでしょうか(機械の構造がわかりません)?
ご回答宜しくお願いします。

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お尋ねの膜圧計とは、電磁誘導式の膜厚計ですね。

「電磁誘導式」 は、鉄芯入りコイルの先端に鉄を近づけると、その距離がわずかに変化します。すると、この変化に対応し、コイルのインダクタンスが変化します。この変化を利用して皮膜の厚さを測るものです。

このほか、アルミ、銅、、および銅合金、オーステナイト系ステンレスなどのような、非鉄金属素地上の絶縁性皮膜の厚さを測定できる膜厚計に、「渦電流式 」のものが、あります。「渦電流式 」は、高周波電界によって金属表面に誘起される渦電流の大きさと皮膜の厚さとの電気的相関性を利用して、鉄以外の金属素地上の絶縁性皮膜の厚さを測るものです。

この他にも、膜や基板の種類、測定膜厚によって、使用できる膜厚計にもいろんな種類があります。

Q膜厚計と硬度計

この二つの機能を兼ね備えた機器(装置)を開発販売しているメーカーさんを知りたいのですが...測定大手は総じて全滅でした。1社(N社)あったのですが事情があって見積りとれません。教育のカテで生々しい質問で恐縮ですがどなたか知りませんか?

Aベストアンサー

もう少し追加の情報いただけませんか.

膜厚というからには,メッキのようなモノを
想像するのですが,そうなのでしょうか.

膜厚の測定原理としては,
 静電容量
 渦電流
 表面粗さ計で段差測定
 共焦点レーザ顕微鏡方式(キーエンスさんとか,レーザテックさんとか)
 などなど
とにかく,どのような材料の膜なのかによって使えたり使えなかったりします.

また,硬度というのは,ビッカース硬度ですか?
ものの硬さによってゴム硬度とか衝撃値とか硬度にもいろいろあります.
特定できますか?

仮に鉄系に非磁性メッキする場合の膜厚だとすると,
ケット社の測定器がありますが,硬度を同時に測定する機種は無いようです.
http://toryou.com/maru/syouhin/equip/makuatu/ket/

私が入社した何年か前,メッキの硬度をはかるビッカース
硬度計を使って測定加重を変えることで,
低い荷重ではメッキ層の硬さを,高い荷重では母材の硬さを,その荷重値の変化の度合いでメッキの厚さを類推したことがあります.ちょっと泥臭いですが.

それでは.

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