エピタキシャル膜で刃状転位ができるというのはどのようなイメージ？

エピタキシャル膜の作成に関して格子不整があると刃状転移が多く形成されるという記述があるのですが、以下のようなことを言っているのでしょうか。仮に膜の格子定数が基板のものの2分の1とします。
oを基板の原子、xを薄膜の原子としたとき、1,3,5のxは基板原子と結合できるけど、2,4のxはできないので刃状転移になるということでしょうか。
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x x x x x
x x x x x
x 　x 　x
o 　o 　 o
o 　 o 　o

No.1 ベストアンサー 回答者： inara 回答日時： 2007/08/29 06:17

そのようなイメージで良いと思います。

GaAs上のエピタキシャル成長させたInSbやInAsのTEM写真が参考URLに出ています。この場合、(100)面に成長させているので、すべりが発生しやすい(111)面は、界面に垂直ではなく、傾斜したクロスハッチのように見えます。

参考URL：http://www.asahi-kasei.co.jp/akasc/pdf/gai0104.pdf

この回答へのお礼

ありがとうございます。勉強になりました。

お礼日時：2007/08/29 23:13