表面粗さの評価指標値の妥当性について質問です

表面粗さの指標はたくさんあります。
たとえば、算術平均粗さ(Ra)や二乗平均粗さ(RMSあるいはRq)、最大高さ(Ry)や十点平均粗さ(Rz)などで表面粗さを評価します。
しかし、それぞれの指標の適用範囲というか、どういうときにどの指標を使うのが妥当なのかわかりません。
半導体の表面品位について考えているのですが、ナノオーダーの表面精度を議論する場合、二乗平均粗さを用いて表面精度を表現するのは妥当なのでしょうか？
妥当であると言えるのなら、あるいは言えないのなら、それは二乗平均粗さのどのような特徴からなのでしょうか？
教えてください。よろしくお願いします。

No.1 回答者： higenotojo 回答日時： 2008/06/10 01:17

「表面粗さの指標がたくさんある」のは、「何のために粗さの指標が必要か」の「何のため」がいろいろあるからです。

「半導体の表面品位」で、どのように表面が粗くなるとどのような不具合があるかを考えれば、どの指標が妥当かは想定できるようになるでしょう。
逆に、何を目的としているか分からなければ、どの指標も妥当では無くなります。