DCスパッタ装置にRFスパッタ出来るよう改造します。

カソードはもとからあるものを使用し、回路をＤＣ／ＲＦ選択しスパッタします。質問したいことはＤＣ側へＲＦのノイズやその他影響がでないようＬＣフィルタを入れた方が良いと言われています。どのような考え方でＬＣフィルタを作れば良いか解らず悩んでおります。どなたか助言、御教授お願いします。

No.1 回答者： electron11 回答日時： 2008/11/10 23:44

電源フィルターは難しい事考えなくとも結構です　通常　L型か逆L型で　少し凝ってπ型です

コイルとコンデンサーで作れます　この場合のコイルはチョークコイルと言います
給電線の途中にコイルを入れ　片側にコンデンサーを繋ぎGNDに落とします
スパッタ装置ですから２ｋV位でしょうか　コンデンサーの耐圧は３KVあれば

問題はコイルのインダクタンスとコンデンサーの容量値ですが　これは負荷とRF周波数で決まります
負荷とは直流電圧をEV　負荷電流をIAとしますと　E÷I＝ZΩ　となりZが負荷で抵抗の次元です
コンデンサーの容量値はZより充分小さいインピーダンス（Ω）となれば良いのです
1/10以下であれば結構　Zｃ＝1/ωｃで与えられます（ω＝２πｆ）ｆは周波数Hｚ

コイルのインダクタンスはZより充分大きいインピーダンス（Ω）となれば良いのです
10倍以上であれば結構　Zｌ＝ωLで与えられます（ω＝２πｆ）更に直流電流恐らく数十ｍA位でしょう　流せるコイルである事

計算して見てください　必要ならコンデンサーを両側に入れるπ型にします

原理はコイルで高周波を阻止し　コンデンサーでGNDに流して外に出ないようにするです
大事な事は　高周波回路の近くに設置する事です

この回答へのお礼

大変よく理解できました。ありがとうございます。
注意点を守り設計、制作してみます。
本当にありがとうございました。

お礼日時：2008/11/11 01:12