透明導電膜に用いるAZOについて

透明導電膜に用いるAZOについて

透明導電膜について勉強しているのですが、AZOについて分からない事があるので質問します。
AZOの作製方法を論文やインターネットなどで色々見ていると、AZOはZnO（酸化亜鉛）にAlを添加したもの。
と、書いてあるのもあればZnOにAl2O3（アルミナ）を添加したものと書いてあるのもあります。
どっちでもAZOは作製出来るのでしょうか？
また、アルミナを添加する場合は絶縁物であるのに何故添加する必要があるのでしょうか？

細かい質問ですがよろしくお願いします。

No.1 回答者： ohbacomeon 回答日時： 2008/11/22 23:52

専門家ではないのですが、

＞AZOはZnO（酸化亜鉛）にAlを添加したもの
というのは形成されたAZO透明導電膜のこと、
＞ZnOにAl2O3（アルミナ）を添加したもの
というのは、AZO透明導電膜をスパッタリングで形成するときに使用されるAZOターゲットのことでしょう。
＞アルミナを添加する
のは、ターゲットとして焼結させるための都合ではないか、つまり、粉砕して混ぜ合わせるのにアルミナの方が都合がいい、アルミであっても高温で焼結させるときに酸化してしまう、ということではないでしょうか。
スパッタリングで飛んでいくのは"原子"ですから、ZnとAlとOがあればいいので、Alがアルミナとしてターゲットに存在してもかまわないのだと思います。