No.1ベストアンサー
- 回答日時:
こんばんは。
ひとえにスパッタ率と言えども、
たとえ一つの材料であっても、入射するイオンの種類、エネルギー、角度等々で変わりますし、
自分(自社)にとって必要なデータは、自分で採取するものです。
ただで得られる情報は少ないでしょうね。
学会誌を調べるのが、真っ当な調査方法だと思います。
とりあえず、見つけたサイトは、これです。
http://www.psinc.co.jp/products/sasamal/index.html
こちらでは、シミュレーションツールをダウンロードできるようです。
(私は試していませんが。)
http://www.geocities.com/karolewski/kalypso.htm
以上、ご参考になりましたら。
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