TiNの配向性に関して

TiNの配向性で、（１１１）は最充満密度と文献で見られます。実際成膜をおこなうと（２００）面が強いIntensityを観測されます。（２００）面は、そのような物理的があるでしょうか？

No.1 ベストアンサー 回答者： doc_somday 回答日時： 2017/06/09 23:05

私は化学屋で結晶には弱いですが、明らかな事が一つあります。

それは反応でも物性でも言えることで「熱力学的制御」と「速度論的制御」の二つがありうるのです。前者は最終的には有利で、充分長い時間後にはそちらに落ち着きます。後者はプロセスに依存し、準安定相の方が出来易く、通常熱によって熱力学的安定相へと相転移します。