PhtotoDiの受光感度〔A/W〕、及び量子効率の測定方法を教えてください。

現在、パワーメーターで光エネルギー〔W〕を求めた後に
それをパワーメーターの受光部面積で割って
放射照度〔W/m2〕を求めています。
一方光電流はPhotoDiodeの光電流の面積から
光電流〔A/m2〕を求めています。
従い受光感度〔A/W〕は、光電流/放射照度として求めています。
しかしこの方法で、量子効率を求めたところ
1.0を超えてしまいました。
何が間違えているのでしょうか?

ちなみに量子効率ηは
η= (Ip/e)/(P/hν)
Ip〔A/m2〕:e電子の電荷:P〔W/m2〕
で、計算しています。

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A 回答 (4件)

>Vr=3.3Vで測定しており


これは少し気になりますね。
逆電圧をかけているということですよね。
まあ、多分大丈夫だとは思いますが、、、(あまり電圧が高いと通常のフォトダイオードもアバランシェ効果はあるため)
抵抗をつなげてその電圧を読んでいるのですか?それであればそれが正確なのかどうか。
それとも逆電圧をかけた状態で電流計を挿入しているのであればまだましだと思いますが。

>また光源は660nmのLEDを使用しています。
それであれば特段には問題ないでしょう。

>放射照度はパワーメーターでWを測定し
>受光部面積1cm□で割ることで求めています
これ1cm□ということはアドバンテストのパワーメーターですかね。きちんと波長補正はしてあるんですよね?

>詳しく教えていただけませんか?
私が測定する場合に、簡易的な方法を採る場合には、

・光源はレンズでコリメートする
 このためLEDであれば先端がレンズになったモールドではなく平板窓タイプなどを選択。
(平行光でないと置いた位置により光量が変動しやすい)
・その光束をフォトダイオードやパワーメータの受光面積よりも狭い(直径で1/2程度がよいです)アパーチャで切り出す。
(面積きちんと同一にするため)
・アパーチャのすぐ後にパワーメータを置いて計測
・同じ位置にフォトダイオードを置いて計測

このときフォトダイオードは電流計を直接つけて順方向電流を測定します。

ただ上記の方法だとフォトダイオードの面積が小さいときには無理があります。
その場合には仕方ないので、フォトダイオードの面積はメーカーの有効面積をそのまま使い、アパーチャはセンサー全面に入るようにします。

本当はより正確に測定するには、積分球を使った方が正確です。このときにはパワーメータは全面が完全に有効というわけでもないから、パワーメータにはアパーチャを張り付けて正確な面積にします。フォトダイオードの方はメーカーの有効面積を使うか、面積が大きければ同じようにアパーチャで制限します。

あと思いつくのは単純な計算ミスとか。。。
単位を間違えているようなこともないですよね。
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この回答へのお礼

またまたご回答ありがとうございます。
ところで、アパーチャーとは何のことなんでしょうか?
勉強不足ですいません。
読んでる印象だと
アパーチャーというもので、
光源の面積を区切っているのでしょうか。
私たちが測定しているPhotoDiodeは大きくても
300um程であり全光束を入れるのには無理があります。
よって、放射照度で求めているのですが。。。
使っているパワーメーターはおっしゃるとおり
アドバンテスト製のものです。
波長補正もやっております。

後は、単純な計算まちがいですか?
一応もう一度確認してみます。

ありがとうございました。

お礼日時:2005/04/25 09:16

一つ言い忘れていましたが、アドバンテストのパワーメーターは検出部分の中心部と周辺部でも感度が全く同一ではありませんし(仕様では+/-10%以内)、絶対精度誤差も数%あり、実際に使った印象では最悪で10~20%位は真値からずれることもありうる程度の精度ですから、あまり厳密な測定は出来ませんのでご注意下さい。

(十分に注意すれば10%以内には入ると思うのですが)

より厳密に測定するには積分球を用いた方法、基準となる測定器もより高精度(といっても数%の誤差はありますが)のものを使う必要があります。この世界では一応NIST(アメリカの計量基準を決めている公的機関)トレーサビリティが一番信頼性が高いです。
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この回答へのお礼

度々回答ありがとうございます。
とても参考になりました。

お礼日時:2005/04/26 10:23

>アパーチャーとは何のことなんでしょうか?


開口という意味で、通常光学系内部に入れて通過する光の面積を制限するものです。

>光源の面積を区切っているのでしょうか。
そういうことです。

で、ダイオードの面積がかなり小さいようですから、同程度のサイズのアパーチャを用意して、光を切り出して測定してください。
そしてダイオードはアパーチャと極力同じ位置(距離、配置)にして下さい。
今はLEDの光量を均一化していないと思いますから、そのままでは同一の光量比較となりません。

>後は、単純な計算まちがいですか?
その他に気になるのは、逆バイアスをかけている点です。
ピンフォトダイオードであれば3V程度では大丈夫だと思いますが、安全策でまずは順方向電流の測定の方がよいと思います。
簡単には電流計を両端子に直結します。
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この回答へのお礼

度々回答ありがとうございました。
とても参考になりました。
また、何かの機会がありましたら
よろしくお願いいたします。

お礼日時:2005/04/25 15:46

>何が間違えているのでしょうか?


通常のフォトダイオードの順方向光電流を見ているのであれば1を越えることはありません。
(アバランシェフォトダイオードは越えますよ。あれは加速された電子が二次電子を作りますので。)

>η= (Ip/e)/(P/hν)
>Ip〔A/m2〕:e電子の電荷:P〔W/m2〕
式を見る限りは間違いなさそうですが、、、、

νはどうしましたか?
単色光で計測し他の光は一切ない状態で測定していますか?
単色光でなければスペクトル分布での計算が必要で、それはパワーメータにもいえる話ですよ。
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この回答へのお礼

早速のご回答ありがとうございました。
現在私たちが測定しているフォトダイオードは
Vr=3.3Vで測定しており、アバランシェではありません。
ですので、1.0を超える事は無いはずなのですが。。。
また光源は660nmのLEDを使用しています。
完全な単色光ではありませんが
単色光とみなして測定を進めています。
また、他の光は測定中に入らないように、
暗室で行っています

放射照度がしっかりと測れていないから
このような事が起こるのでしょうか?
放射照度はパワーメーターでWを測定し
受光部面積1cm□で割ることで求めていますが。。。

もし、mickjey2さんの方でやられている放射照度の測定や
量子効率の求め方等ありましたら
詳しく教えていただけませんか?
度々の質問で申し訳ありませんが
ご回答くださると幸いです。

お礼日時:2005/04/22 11:49

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Qフォトダイオードの受光感度の計算

 光については素人で、本など調べたのですが良く分かりませんのでお願いします。
 フォトダイオードの特性で受光感度というものがあり、単位は[A/W]です。出力電流[A]を入射光量[W]で割ったものですが、その入射光量の単位が[ルーメン]だとどのように出力電流を計算すればよいのでしょうか。[ルーメン]と[W]の関係が分かりません。
 電気の[W]ならば、電流×電圧ということになりますが、光ではどう計算するのでしょうか。
 ちなみに、感度0.65[A/W]のフォトダイオードで、受光面が1[平方センチメートル]のものに、1000[ルーメン]の光を当てる(抜けている条件があったらすみません)。

Aベストアンサー

結構面倒ですよ。
何をしたいのかでやり方は幾つかありますが、
1)フォトダイオード(PD)に入射する光源の波長分布を求める。
2)上の波長分布から比感度特性を考慮してルーメン→Wへの換算をする。
 (波長の関数のままで変換して下さい)
3)ルーメンからルックス(単位面積当たり)に変換する。
 (ここでも波長の関数のままです)
4)次にフォトダイオードもまた感度特性を持っているので(0.65A/Wはある特定の波長の時の筈です)、それに基づいて電流に換算する。
  このときには、全波長にわたって積分してしまって下さい。
以上です。
単色光の場合は波長の関数じゃなく単なる一つの値になるので簡単ですが、、
1,2,3はa-kumaさんのご紹介のURLが参考になるでしょう。

Q波長(nm)をエネルギー(ev)に変換する式は?

波長(nm)をエネルギー(ev)に変換する式を知っていたら是非とも教えて欲しいのですが。
どうぞよろしくお願いいたします。

Aベストアンサー

No1 の回答の式より
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   = hc/eλ[eV]
となります。
波長が nm 単位なら E = hc×10^9/eλ です。
あとは、
 h = 6.626*10^-34[J・s]
 e = 1.602*10^-19[C]
 c = 2.998*10^8[m/s]
などの値より、
 E≒1240/λ[eV]
となります。

>例えば540nmでは2.33eVになると論文には書いてあるのですが
>合っているのでしょうか?
λに 540[nm] を代入すると
 E = 1240/540 = 2.30[eV]
でちょっとずれてます。
式はあっているはずです。

Qフォトダイオードの使い方

こんにちは。
既に同じような質問をしたのですが、先の質問で本来尋ねたかったことについて記述をできていなかったので、再度投稿させて頂きます。

規格で強度10mWとなっているレーザーダイオードの光強度を確認するために、浜松ホトニクスのS2281-04というフォトダイオードをSMファイバの直近に持って行って、発生した電流を4.7オームの負荷抵抗に流し、その負荷抵抗にかかっている電圧をロックインアンプ(NF回路の5610B)で測定しています。

測定した電圧と抵抗値から、オームの法則よりフォトダイオードからの電流値を計算し、受光感度より光強度を計算したところ、規格の10mWを大きく下回る5.9mWとなりました。

何故、このように測定値が小さくなってしまうのか。
測定の方法等が間違っているのでしょうが、原因がわかりません。

どうか、ご回答をよろしくお願いします。

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#1,2様と同じ意見ですが、
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PDのi層に入射した光は、i層中を伝搬しながら、単位長さあたりある一定の割合で吸収されていきます。この割合を吸収係数と呼びます。吸収係数aのi層の中を伝搬する光はexp(-ax)に比例して減衰していきますので、i層の厚みがdの場合には、量子効率は(1-exp(-ad))に比例することになります。いろいろ調べられたようですので、きっとこれもご存じと思います。
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一方、「単位長さあたりある一定の割合で吸収され」ない場合はどんな場合かというと、光の入力パワーが大きくて、伝導帯や価電子帯に生成されたキャリアがなかなか電極にはけていかない状態です。キャリアが残っていると、電子とホールを対生成できないため、光を吸収できなくなります。このため、光の入力パワーを大きくすると出力は飽和します。一般のPDに用いる半導体では、価電子帯の重いホールの寄与が大きく、その移動度が低いためにこうした現象が生じます。

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LEDの発光効率は内部量子効率と外部量子効率の2カテゴリーで評価されます。前者は投入さてた電力が、どれだけ光に変換されたか、後者は投入された電力が、LED外部にどれだけ放出されたかということです。LEDは屈折率が大きな材料(2以上)が用いられているため、パッケージから空気に光を取り出せないため(外部量子効率とう概念が出てきます)。
内部量子効率が物理的には意味があると思いますが、効率の高いInGaAlPなどでは赤色で99.9%といった数字が発表されています。一方注目の白色LEDなどのGaN LEDはあまり効率が高くなく、内部量子効率50%を目指そうという研究プロジェクトが経済産業省によって実施されたぐらいです。
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Q光検出器に関する質問

半導体レーザーからどれだけの出力が出ているかを調べるフォトセンサーを購入することを考えているのですが、
これに関しての質問です。

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となると出力が同じ20mWで400nmのレーザーと900nmのレーザーが入ったときで、検出される出力が異なるということになります。
これは装置の中でディテクター依存のA/W値の逆数のW/Aをかけて出力を算出していると考えて良いのでしょうか?

・それと、400nmのレーザーと900nmのレーザーでは同じ出力20mWでもフォトン数が違うはずです。
具体的には900nmのレーザーのフォトン数は多いはずですが、これはフォトセンサーでは考慮されないということで良いのでしょうか?

よろしくお願い致します。

Aベストアンサー

光パワーメータでなく、フォトダイオードを使って光パワーを測定する場合は、その波長でのセンサの感度 S [A/W] の値を使って、光電流 I [A] から光パワー P [W] を求めることができます。変換式は
   P = I/S
です。センサの感度 S というのは、フォトン数の違いがすでに盛り込まれた感度なので、フォトン数の違いは気にしなくていいです。

JAICA2 さんが疑問に思っているのは、センサの感度 S [A/W] と、センサ自身の絶対感度(1個のフォトンが入ってきたときに何個の電子・正孔対に変換されるかの割合)の関係だと思います。センサの絶対感度のことを量子効率といいます(量子効率 = 1 というのは1個のフォトンが入ってきたときに1個の電子・正孔対に変換されるという意味で、0 から 1 までの値をとります)。

>同じ出力20mWでもフォトン数が違うはずです
その通りです。光パワーが P [W] の光源からは、1秒間に
   Np = ( P*λ )/( h*c )
個の光子が出ています。λ は光の波長 [m] 、 h はプランク定数( = 6.62606896×10^-34 J・s)、c は真空の光速( = 2.99792458×10^8 m/s)です。波長400nm・光出力 20mW の青紫色のレーザからは1秒間に 4.03×10^16個の光子が、波長900nm・光出力 20mW の赤外レーザからは1秒間に 9.06×10^16個の光子が出ていますので、同じ光パワーでも、波長の短い光ほど光子数は少なくなります。1秒間に Np 個の割合で入射してきたフォトンが、Ne 個の電子・正孔対に変換されるときの量子効率 η は
   η = Ne/Np
で表わされます。
   Ne = I/q
です。I はフォトダイオードの光電流 [A] 、q は電子の電荷( = 1.602176487E-19 C)です。1A の電流というのは、1秒間に q 個の電子が流れている状態です。したがって
   η = Ne/Np = ( I*h*c )/( q*P*λ )
となります。センサの感度 S [A/W] と入射光パワー P [W] の関係は
   P = I/S
ですから
   η = ( h*c*S )/( q*λ )
   → S = ( q*λ*η )/( h*c )
という関係が得られます。これがセンサの感度 S [A/W] と、センサの量子効率 η の関係です。同じ量子効率でも、波長が短いほどセンサの感度 S が小さくなります。η が 1 (100%) の場合、波長400nmの光に対する感度は S = 0.323 A/W、波長900nmの光に対する感度は S = 0.726 A/W となります(これが感度の上限値)。実際のセンサの感度はこれより小さいはずです。

光パワーメータでなく、フォトダイオードを使って光パワーを測定する場合は、その波長でのセンサの感度 S [A/W] の値を使って、光電流 I [A] から光パワー P [W] を求めることができます。変換式は
   P = I/S
です。センサの感度 S というのは、フォトン数の違いがすでに盛り込まれた感度なので、フォトン数の違いは気にしなくていいです。

JAICA2 さんが疑問に思っているのは、センサの感度 S [A/W] と、センサ自身の絶対感度(1個のフォトンが入ってきたときに何個の電子・正孔対に変換されるかの割合...続きを読む

Q吸収係数の導出

基盤上に薄膜を成膜したとき吸収係数は

α=-(1/d)ln(T1/T2)
となるようですが導出の仕方がわかりません。ご指南お願いします。
dは薄膜の厚さ、T1は薄膜と基盤を通過した光の透過率、T2は基盤のみを通過した光の透過率です

Aベストアンサー

厚さd,吸収係数αの物質の透過率Tは
T=e^(-αd)
と表されます。(Lambert-Beerの法則)
この式から
α=-(1/d)lnT (1)
となります。

透過率Tの膜とT2の基盤が積層されているときの透過率T1はこの二つの透過率の積になりますので
T1=T*T2 → T=T1/T2 (2)

(2)を(1)に代入すればご質問にある関係式が導かれます。

Q量子収率とは???

量子収率という言葉はよく聞くのですが、いまいちよく分かりません。

どなたか分かりやすくご説明して頂けないでしょうか?

お願いします。

Aベストアンサー

量子収量の定義は「光化学反応において、吸収した光子に対する生成物の割合」です。例えば、反応物に光を照射し、そのうち1molの光子を吸収して0.5molの生成物を得た場合、量子収率は50%ということになります。光子のmol数は光強度、振動数、照射時間、プランク定数、アボガドロ数から計算されます。

Q光子数の求め方

こんにちは。
600nmの光のエネルギーが4.0x10 -17(マイナス17乗)J
の場合、この光子数を求める方法をご教示
お願いします。

Aベストアンサー

光子一個のエネルギーは
E=hν,
で波長に直すには次の関係を用いる。
ν=c/λ
すると
E=hc/λ
あとは、波長が600nmのときの光子一個が持つエネルギーは上式に代入してくだされ。
そんでもって、与えられているエネルギーを割ってくれ。

ちなみに
プランク定数:h=6.626×10^-34J・s
真空中の光の速さ:c=2.99792458×10^8m/s

Qレーザのスポット径の計算式

自分が使用しているレーザの加工サイズ(スポット)径を計算式から算出したいと考えています.以前同様の質問に対し,mickjey2さんが丁寧に回答してくださったにも関わらず,自分の知識の無さから未だに解決していない次第です.式としては、
(1)スポット径w=4λd/πw0
         λ:波長
          d:対物レンズの焦点距離
         w0:レンズに入射するビーム径
(2)スポット径w=w0*{1+(λd/πw0^2)^2}^1/2
の2つがあることは分かったのですが,どちらを使用して良いのか分からないのです.実際に波長1064nm,焦点距離30.5mm,入射ビーム径1.5mmで計算したのですが,スポット径にかなりの違いが見られました.
それぞれの式はどのような条件の際に用いるものなのかどなたか教えてください.宜しくお願いします.
(どちらかがガウスビームの式なのでしょうか?)
最後にもう一つ,私の使用するレーザユニットはM^2~1.5と表記されています.ガウスビームとみなす事が出来るでしょうか?
         

自分が使用しているレーザの加工サイズ(スポット)径を計算式から算出したいと考えています.以前同様の質問に対し,mickjey2さんが丁寧に回答してくださったにも関わらず,自分の知識の無さから未だに解決していない次第です.式としては、
(1)スポット径w=4λd/πw0
         λ:波長
          d:対物レンズの焦点距離
         w0:レンズに入射するビーム径
(2)スポット径w=w0*{1+(λd/πw0^2)^2}^1/2
の2つがあることは分かったのですが,どちらを使用して良い...続きを読む

Aベストアンサー

ではすぐに計算できる形でご提供しましょう。
使用する式は加工用途のYAGレーザですからガウシャンビームの式の発展版を使います。(詳しくは大御所お二方の書かれた "Output Beam Propagation and Beam Quality from a Multimode Stable-Cavity Laser", Anthony E.Siegman, Fellow IEEE, and Steven W.Townsend, IEEE Jurnal of uantum Electronics, Vol.29, No.4, April 1993 でも参照下さい。)

平行な、半径r、BQFactorがM2、ビームを焦点距離fのレンズに入射したとき、ビームウエスト半径r0は、

r0 ^2 = { r^2 * f^2 / Zr^2 } / { 1 + (f/Zr)^2 }

ここで、 Zr = π * r^2 * n / {M2 * λ}

M2 : M^2 の値
λ : 波長
 n : 屈折率(空気中ならばほとんど1)

全部MKSA単位で計算すればOKです。
M2が1からはずれてくると段々と上式と実際のスポットには食い違いが生じてきますのでご注意下さい。(詳しくは論文を読んで下さい)

ではすぐに計算できる形でご提供しましょう。
使用する式は加工用途のYAGレーザですからガウシャンビームの式の発展版を使います。(詳しくは大御所お二方の書かれた "Output Beam Propagation and Beam Quality from a Multimode Stable-Cavity Laser", Anthony E.Siegman, Fellow IEEE, and Steven W.Townsend, IEEE Jurnal of uantum Electronics, Vol.29, No.4, April 1993 でも参照下さい。)

平行な、半径r、BQFactorがM2、ビームを焦点距離fのレンズに入射したとき、ビームウエスト半径r0は、

r0...続きを読む


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