膜厚測定

化学分析の初心者です。基本的なことだと思いますが、
もしご存知の方がいらしたら教えてください。
薄膜の膜厚測定にFT-IRの使用を考えています。
担当者より膜厚への換算式はランバート・ベールの法則により導けるとアドバイスをもらいました。
A＝αLC
（A:吸光度　α：吸光係数　L:サンプルセルの光路差
C:サンプル濃度）
式を調べましたが、この式は液体を想定しているように思えます。薄膜の場合、上式の　
A:吸光度　C：サンプル濃度　α：吸係数
はどのように決めれば良いのでしょうか？

No.1 ベストアンサー 回答者： Josquin 回答日時： 2005/05/01 14:55

A：吸光度が実測する値です。

αやCはわからないので、同じ素材で厚さがわかっている膜をあらかじめ測定しておく必要があります。その値を測定値と比べれば膜厚がわかるということでしょう。

この回答へのお礼

お休みのところ、早々に回答頂きありがとうございました。たいへん参考になりました。
頂いたアドバイスより下記の手順でよいかと思います。
・同じ素材で厚さがわかっている膜にて　αC　を求める。
・同じ素材で厚さがわかっている膜数種類にて吸光度Aを
　測定し検量線を引く。
・サンプルの吸光度Aを測定し、検量線により膜厚換算する

お礼日時：2005/05/01 17:51