リソグラフィ関連の話で、リフトオフプロセスという言葉がでてきました。
レジストに関する言葉のようですが、正確な意味がわからないので教えていただきたいです。
よろしくお願いします。

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A 回答 (1件)

リソグラフィー(あるいはフォトリソグラフィー)とは半導体集積回路などの製造工程において、ウェハ(基板)表面に2次元パター


ンを形成する方法ですが、リフトオフ・プロセスとはフォトリソグラフィー工程の一種です。
通常、フォトリソグラフィーと言うと、次の工程を指し示します。

(1)基板上にレジストを塗布する(普通、適度にベイクさせた後、基板を高速回転しながらレジスト液を滴下し、均一に基板表面に
 塗布します。また塗布後、レジストと基板との密着性を高めるために加熱処理します)。
(2)マスクやレティクルを利用して露光する(パターンが印刷されているマスクを基板に近接させて、光を当てる。レジストは光が
 照射された部分のみ化学的に変質します)。
(3)現像および加熱処理(現像液によって変質したレジストを溶かします。所望のパターンに沿ってレジストを溶かしたことになり
 ます。その後加熱処理を行います)。
(4)エッチングなどを行う(ここで例えばエッチャントなどに浸けると、レジストの無い部分の基板のみがエッチングされ、基板上
 にパターンに沿った段差を形成することができます)。
(5)剥離する(最後にレジストを剥離液などで除去します)。

さて、リフトオフとは、上記の(4)の後に、金属蒸着を行う場合などに利用されます。上記(4)の後、次のようにします。
(5')蒸着する((4)でエッチングをしたとき、エッチャントが段差の側面をも溶かし(サイドエッチと言う)、レジストによって
 ヒサシができます。このヒサシが重要です。このヒサシのお陰で、レジスト上に蒸着された金属膜とエッチングされた部分に成膜
 された金属膜とを断絶できます。またこのとき、金属を蒸着するとき、レジストを一種のマスクに使っていることになります)。
(6')剥離する(最後にレジストを剥離液などで除去。そのとき、レジスト上の金属膜も一緒に取り除かれます)。
このようにすると、蒸着された金属はちょうど(4)でエッチングされた部分に入り込む形で残ります。パターンに沿った金属膜が形成
できるわけです。
「リフトオフ」という言葉は、多分、最後の(6')の過程で、レジスト上に余分に成膜された金属膜を、レジストが持ち上げて(lift)
取り除く(off)、ということから出来た言葉です。文章では分かりにくいと思うので、上記の工程を絵にしてみます。

(1)
■■■■■■■■■■レジスト
□□□□□□□□□□基板
□□□□□□□□□□

(2)
↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓光
▲▲▲▲▲↓↓▲▲▲マスク
■■■■■■■■■■レジスト
□□□□□□□□□□基板
□□□□□□□□□□

(3)現像 
■■■■■  ■■■レジスト
□□□□□□□□□□基板
□□□□□□□□□□

(4)エッチング
 エ ッ チ ャ ン ト 
■■■■■  ■■■レジスト
□□□□____□□基板
□□□□□□□□□□

(5)蒸着
◎◎◎◎◎  ◎◎◎金属膜
■■■■■  ■■■レジスト
□□□□_◎◎_□□基板
□□□□□□□□□□

(6)レジスト除去(これがリフトオフ)

□□□□_◎◎_□□
□□□□□□□□□□出来上がり

こんな絵で上手く伝わるか心配ですが、もし何かわからないことがありましたら、補足をお願いします。
    • good
    • 2
この回答へのお礼

何となくイメージはしていたので、ちゃんと理解できました。
絵がわかりやすかったです。
助かりました、ありがとうございます。

お礼日時:2002/01/17 04:06

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Qカロリーオフ?気にしない?

皆様はどちらですか?

例えば炭酸飲料で、

・カロリーオフ重視(人工甘味料使用)

・本来の味重視(人工甘味料不使用)

カロリーオフとかゼロが美味しくないと批判したいのではなく、単にどちらを選んでますか?(炭酸飲料以外でも)

私はカロリーオフ系はほとんど買わないです。
アスパルテームなどを使った飲料は、独特の後味が舌に残る感じがして、苦手です‥。

ついでで教えて下さると嬉しいです。(書かなくてももちろん大丈夫です)

・コカコーラ派?
・ペプシコーラ派?

よろしくお願い申し上げます!

Aベストアンサー

こんにちは。

炭酸飲料は普段はあまり飲まず、飲んでも半年に1本ぐらいです。
その際、コカコーラとペプシの自販機が2つ並んでいて、どちらもカロリーオフ商品があった場合、迷わず買うのはペプシネックスです。

頻繁に飲むことはないので人工甘味料だからと特には気にはしていません。
また、どうせならカロリーは少ない方がいいです。ペプシネックスは後味に人工感がさほどなく、普通に美味しく感じられるので迷わず選びます。
ちなみにコカコーラゼロは、後味が悪く感じられて苦手です。

だからってペプシ派というわけではないような。
カロリーオフ商品がなければ、特に拘りはないのでその時の気分で「今日はこっちー」と選びます。

Qお願いします!世界史に関する質問です!受験勉強ですので、正確な知識のご教示をお願いします。いつもお世

お願いします!世界史に関する質問です!受験勉強ですので、正確な知識のご教示をお願いします。いつもお世話になり、ありがとうございます☺︎

甘粛、烏孫、烏垣について詳しく教えてください。教科書も拝見しましたが、あまり書いてありませんでした。年代や系統、特徴等、知っている範囲で詳しくお願いしたいです

Aベストアンサー

甘粛はモンゴル・西域に接する重要な場所であり、
漢代には涼州と呼ばれ、北宋代に甘州と粛州がありました。
西夏王国がこれらを併せて「甘粛軍司」を設置したのが、甘粛の起源様ですね。
元代には「甘粛行省」が設置され、省級レベルの行政区となり、清代には現在の甘粛省が成立しています。
因みに黄河が省中央部を横断し、省域は西北に向かって長く延びている為、河西回廊と呼ばれているようです。

烏孫は、紀元前161年から5世紀にかけて、イシク湖辺り(今のキルギス辺り)に存在した遊牧国家ですね。
5世紀から6世紀にかけて烏孫族は姿を消したと言われています。
秦の末年、匈奴が冒頓単于のもとでモンゴル高原を統一、
前漢の孝文帝の時代になり、その周辺国であった烏孫を含めたタリム盆地の26国は匈奴に征服されますが、
その際、烏孫王であった難兜靡は殺され、子の昆莫が匈奴のもとで育てられたと言われています。
後に昆莫は匈奴で手柄を立てるようになり、老上単于から烏孫の民を返され、西城を鎮守しながらも、次第に勢力を増していきます。
以降は後漢の時代・北魏の時代と移り変わりますが、烏孫はたびたび柔然に侵され、西の葱嶺山中に移り、
最終的には姿を消していきます。

烏桓は、紀元前1世紀から紀元後3世紀にかけて中国北部…現在の内モンゴル自治区に存在していた民族ですね。
(三国志等では烏丸と表記されています)
こちらについては色々と歴史や習慣・風俗が有るので、
教科書等や他にも資料をお持ちなら「烏丸」の方で記載されているかもしれないので少し見直してみると良いかもしれないですね。

甘粛はモンゴル・西域に接する重要な場所であり、
漢代には涼州と呼ばれ、北宋代に甘州と粛州がありました。
西夏王国がこれらを併せて「甘粛軍司」を設置したのが、甘粛の起源様ですね。
元代には「甘粛行省」が設置され、省級レベルの行政区となり、清代には現在の甘粛省が成立しています。
因みに黄河が省中央部を横断し、省域は西北に向かって長く延びている為、河西回廊と呼ばれているようです。

烏孫は、紀元前161年から5世紀にかけて、イシク湖辺り(今のキルギス辺り)に存在した遊牧国家ですね。
5世紀...続きを読む

Qカロリーオフチョコレートについて

ただいまダイエット中。
以前カロリーオフチョコレートがあると聞いたことがあるのですが、どなたか知りませんか?よろしくお願いします。

Aベストアンサー

http://www.lotte.co.jp/choco/d6_1.html
まだ販売されているみたいです。
ご参考まで

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このカテゴリーでよろしいんでしょうか。

「パニック」という言葉はすでに日本語として定着していますが。
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「パニック」という言葉の
1)語源
2)その他の意味
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"panic" の語源である "Pan"(パーン)とは、ギリシア神話に登場する牧神で、
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詳しくは参考 URL に要領よく書いてありますが、ある日テュフォーンという
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パニックをもたらす神がパニックになるとは面白いですね。

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>「パニック障害」という「病気」のパニック
>の意味に「思うことがありまして」。

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参考URL:http://www.himawari.sakura.ne.jp/~yumi/space/star/greece/cap-g.htm

Qよくカロリーゼロのコーラやカロリーオフのジュース、お酒がありますけど体に悪いのではないでしょうか?

主人は少し太っているのですが、ノンカロリーのコーラや、ノンアルコールでカロリーオフのお酒を毎日飲みます。体に悪くはないでしょうか?
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Aベストアンサー

りんご歯科クリニックHPより抜粋

ノンカロリーの人工甘味料


ただし、これらの天然に存在する甘味料の他にも、天然に存在せず人工的に合成して作られた合成甘味料もあります。

現在多く使用されている合成甘味料には、砂糖の200倍の甘さのアスパルテーム、砂糖を加工して合成され約600倍の甘さのスクラロース、ここ数年に普及してきた新しい甘味料で、アスパルテームと同等の甘さのアセスルファムカリウムなどがあります。

これらの合成甘味料にも、もちろん僅かなカロリーはありますが、甘みがとても強いためごく少量を入れるだけで済むので、カロリーゼロとして扱われます。

これらの人工甘味料には独特の後味があるため、単体で使用せずに天然の甘味料と併用される場合が多いようです。

また、認可される以前から現在に至っても、健康への悪影響が指摘されていますが、これまでに明確な影響は確認されていません。
http://www.ringo-sika.com/caloriezero.html

Qアプリによって、翻訳がバラバラで困っています。正確に翻訳してくれるアプリを探しています。よろしくお願

アプリによって、翻訳がバラバラで困っています。正確に翻訳してくれるアプリを探しています。よろしくお願いします

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「アプリによって、翻訳がバラバラで困っています。」
「翻訳がアプリによってバラバラで困惑しています。」
「翻訳したものがアプリごとにバラバラで支障が出ています。」
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どれか一つが「正確」で、他のものが「間違い」であるわけではありません。

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わがままではありますが安価で大量に購入できるものがベストです。よろしくお願いします。

Aベストアンサー

こんばんわ★
#1さんの仰るとおり、こんにゃくは低カロリーではダントツでしょう★
それから、具体的ではないですが、繊維質のものなんかはカロリーが比較的低いですよ。
野菜類は特にビタミンも一緒に摂れるのでオススメです!!

おなか一杯感が欲しいのでしたら、ガムとかオススメですよ♪
沢山噛むと、満腹中枢(満腹だぁって感じるトコ)が刺激されるので、効果的です!私はよく実践します★

カロリーってどのくらいあるんだろう?って疑問に思ったら参考URLで探してみてください★
グリコのお菓子のカロリーもわかっちゃいます(笑)

参考URL:http://www.glico.co.jp/cgi-bin/glico/navi/gonavi.cgi

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Qマクドナルドでカロリーオフ

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表題の通りですが
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Aベストアンサー

このサイトにいくつか「聞くこと」に関する格言が紹介されています。↓
http://www2.ocn.ne.jp/~rough/graphic/tushin/tusin0011.html

http://business1.plala.or.jp/shiten/plalaboard/message/236.html

今月の格言「人を説得する最良の方法のひとつは、あなたの耳を使う事・・・相手の言葉をよく聞く事だ。~ディーン・ラスク
引用:http://www.eonet.ne.jp/~shingo-red-sleep/top01.htm


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