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半導体のチップ表面の保護膜は？

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  • 質問者：natake
  • 質問日時：
  • 回答数：1件

現在の半導体のチップの表面を保護（傷がつかないようにするため）している
保護膜は何を使っているのですか。
また、その材料の特性（特に耐熱）について教えて欲しいのですが・・・
よろしくお願いします。

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A 回答 (1件)

No.1ベストアンサー

  • 回答者： linus127
  • 回答日時：

二酸化珪素（酸化シリコンSiO2）だったと思います．


金属シリコン自体反応性が高くすぐに酸化してしまいますが，酸化すると水晶（耐熱ガラスの方が近いかも）になります．耐熱ガラスみたいなものですから，絶縁・熱耐性に優れます．
金属配線後に拡散方式で全体をコートします．
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この回答へのお礼

ありがとうございました。
いつも同じ人に答えて頂いていますね。
これからもよろしくお願いします。

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お礼日時：2001/01/22 17:07

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