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バッファ層とシード層の違いは何なんでしょうか??

A 回答 (1件)

バッファはその名の通り緩衝材で、シードはその名の通り種でしょう。



基板の物質と薄膜の物質とで、結晶格子や、格子定数なんかが違うと、境界でうまくつながらないんで、膜ができません。それで、基板と薄膜との両方ともと、それなりにつながる物質(基板とも薄膜とも異なる第3の物質)の層を間に挟んだりします。これがバッファ層です。

それから、たとえばメッキとか(CVDとかでも)なんかで薄膜を作る場合、いきなり基板の上に直接薄膜を成長させることはできなくて、成長のスタート地点として薄膜と同じ物質が必要です。それがシード層です。シード層自体は、スパッタとかPVDとかでつける場合が多いですね。
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