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No.2ベストアンサー
- 回答日時:
どういう分野の論文の、どういう文脈で登場したのかわかりませんが。
メサというのは、台地のような構造のことです。細長いというイメージは普通はないです。一般的には、皿にあけたプリンみたいな、丸くて、上面の径が下面の径よりも若干小さい形状のことです。
MEMSの世界では、Mesa Deviceというのは、何か特定のデバイスのことを指しているわけではなくて、単にメサ型(台地状)の構造をもったデバイス全般のことを指しています。
一方、メサ型トランジスタのことであるなら、これは、ある決まった構造をとるトランジスタのことです。現在の単体のトランジスタはプレーナ型といわれるものですが、その昔は、メサ型というのが主流でした。電極の形ではなくて、トランジスタ自体がメサの形をしています。拡散を繰り返してトランジスタを完成させた後に、必要なところだけ円形にマスクして他をエッチングするので、メサ構造ができます。
メサ型トランジスタは劣化しやすいんですが、プレーナー型に比べて寄生容量が格段に小さいという利点があります。最近は、特定の型番のメサ型トランジスタ(とっくに生産中止)がオーディオマニアの間で、ものすごい高値で取引されたりしています。
No.1
- 回答日時:
こんばんは。
こちらを見ると、
http://www.ece.uci.edu/~rnelson/UG2002/Progress- …
シリコンウェハの表面を削って長細い形状をつくり、
それをガラス基板に転写したもの(貼り付けたもの)を mesa と言っているようです。
こちらの「その他」の項を見ると、
http://ja.wikipedia.org/wiki/%E3%83%A1%E3%82%B5
「台形の形に整形したトランジスタ」とありますが、
これは明らかに、長細いゲート電極のことを指しています。
というわけで、
上部が平らな、細長いパターンのことを「Mesa Device」と言っているようです。
以上、ご参考になりましたら。
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