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No.1
- 回答日時:
電源フィルターは難しい事考えなくとも結構です 通常 L型か逆L型で 少し凝ってπ型です
コイルとコンデンサーで作れます この場合のコイルはチョークコイルと言います
給電線の途中にコイルを入れ 片側にコンデンサーを繋ぎGNDに落とします
スパッタ装置ですから2kV位でしょうか コンデンサーの耐圧は3KVあれば
問題はコイルのインダクタンスとコンデンサーの容量値ですが これは負荷とRF周波数で決まります
負荷とは直流電圧をEV 負荷電流をIAとしますと E÷I=ZΩ となりZが負荷で抵抗の次元です
コンデンサーの容量値はZより充分小さいインピーダンス(Ω)となれば良いのです
1/10以下であれば結構 Zc=1/ωcで与えられます(ω=2πf)fは周波数Hz
コイルのインダクタンスはZより充分大きいインピーダンス(Ω)となれば良いのです
10倍以上であれば結構 Zl=ωLで与えられます(ω=2πf)更に直流電流恐らく数十mA位でしょう 流せるコイルである事
計算して見てください 必要ならコンデンサーを両側に入れるπ型にします
原理はコイルで高周波を阻止し コンデンサーでGNDに流して外に出ないようにするです
大事な事は 高周波回路の近くに設置する事です
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