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A 回答 (1件)
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No.1
- 回答日時:
専門家ではないのですが、
>AZOはZnO(酸化亜鉛)にAlを添加したもの
というのは形成されたAZO透明導電膜のこと、
>ZnOにAl2O3(アルミナ)を添加したもの
というのは、AZO透明導電膜をスパッタリングで形成するときに使用されるAZOターゲットのことでしょう。
>アルミナを添加する
のは、ターゲットとして焼結させるための都合ではないか、つまり、粉砕して混ぜ合わせるのにアルミナの方が都合がいい、アルミであっても高温で焼結させるときに酸化してしまう、ということではないでしょうか。
スパッタリングで飛んでいくのは"原子"ですから、ZnとAlとOがあればいいので、Alがアルミナとしてターゲットに存在してもかまわないのだと思います。
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