No.3ベストアンサー
- 回答日時:
一般論しか答えられませんが、とりあえず。
MPA(ミラー・プロジェクション・アライナー)方式は、
原則、等倍の反射結像系により、マスク像を1倍で、ウエハ上に
投影していきます。
従来は、ステッパの1世代前の露光技術と考えられていましたが
大画面化が比較的容易であることから、最近では、大判液晶を焼く
のに、一般的に多用されています。
MPAでは、ウエハ上をイッキに露光するのではなく、マスクと
ウエハを、線状の光源/光学系に対して順次等速走査することによって、
概略線状の範囲を順次露光することになります。
(そんなに大きな範囲をイッキに露光する光学系も光源系も、たとえ
1倍であっても非常に困難ですから・・・)
ですから、MPAでは、途中で止めても、あるチップが生きるか
死ぬかは明確でなく、むしろ途中露光で死ぬチップが必ず1行ある
と考えるべきでしょう。
また、等速等倍露光を前提としたシステムであるため、
アライメント精度などの関係から、途中から再開することは、難易度が
高いと思います。
さて、ステッパは、ご存知のようにマスク(レチクル)を通常、
1/4~1/10程度に縮小投影し、ステップ&リピートしながら
シリコン上に、1つまた1つとチップを焼いていくわけです。ですから、
ある場所でSTOPしても死ぬのは、最悪1チップなわけです。
最近のステッパはアライメント精度も非常に高く、再開もしやすい
ことと思います。最高品位のステッパで焼く石に、非常に高いものが
多いこと、12インチなどシリコン単価の高いものが主流になったという
ことなどが背景にあると思います。
この回答へのお礼
お礼日時:2003/02/19 22:02
ステッパー作業に関しても
アライナー作業にくらべて
とても容易で、
アライメントずれ(アラズレ)も
まったく無い!・・・
納得~!
大変参考になりました!!!
またわからないことがありましたら
よろしくお願いします!!!
No.1
- 回答日時:
直接的な回答ではないのですが、半導体関連のご質問は、『技術の森(Powered by Okweb)』の『半導体』カテゴリーで質問した方が、より正確な回答が得られると思います。
okwebと併用して質問してみては如何でしょう?
私も『CAD』や『プラスチック金型』カテゴリーでお世話になっています。
参考URL:http://mori.nc-net.or.jp/index.php3?KN_Sess=8&KN …
お探しのQ&Aが見つからない時は、教えて!gooで質問しましょう!
おすすめ情報
- ・漫画をレンタルでお得に読める!
- ・人生のプチ美学を教えてください!!
- ・10秒目をつむったら…
- ・あなたの習慣について教えてください!!
- ・牛、豚、鶏、どれか一つ食べられなくなるとしたら?
- ・【大喜利】【投稿~9/18】 おとぎ話『桃太郎』の知られざるエピソード
- ・街中で見かけて「グッときた人」の思い出
- ・「一気に最後まで読んだ」本、教えて下さい!
- ・幼稚園時代「何組」でしたか?
- ・激凹みから立ち直る方法
- ・1つだけ過去を変えられるとしたら?
- ・【あるあるbot連動企画】あるあるbotに投稿したけど採用されなかったあるある募集
- ・【あるあるbot連動企画】フォロワー20万人のアカウントであなたのあるあるを披露してみませんか?
- ・映画のエンドロール観る派?観ない派?
- ・海外旅行から帰ってきたら、まず何を食べる?
- ・誕生日にもらった意外なもの
- ・天使と悪魔選手権
- ・ちょっと先の未来クイズ第2問
- ・【大喜利】【投稿~9/7】 ロボットの住む世界で流行ってる罰ゲームとは?
- ・推しミネラルウォーターはありますか?
- ・都道府県穴埋めゲーム
- ・この人頭いいなと思ったエピソード
- ・準・究極の選択
デイリーランキングこのカテゴリの人気デイリーQ&Aランキング
-
クライアントに出すメールで、...
-
何度も同じ事を言わせる人は何...
-
「ありますか」と聞く場合、Is...
-
「データ」のスペルはdataとdat...
-
一般常識が無さすぎて自信をな...
-
独身男性はどうやって性欲をお...
-
チェーンソーの耐用年数
-
丁寧語の「ご質問」「お問い合...
-
LINEで、質問されたから答えた...
-
太陽光発電での全量売電から余...
-
会計用語で"Plug"とは?
-
「行かなきゃ」と「行かないと...
-
接骨院の受付事務 訳が分から...
-
GoogleChromeのプラグインで閲...
-
FOB、C&F、CIFの違い...
-
演者と座長とは?
-
EXCELでSavitzky-Golay法
-
「優しい方」って書き方、イラ...
-
看護学生です。 明日から実習が...
-
女性に質問です 知恵袋(アダカ...
マンスリーランキングこのカテゴリの人気マンスリーQ&Aランキング
-
クライアントに出すメールで、...
-
独身男性はどうやって性欲をお...
-
「ありますか」と聞く場合、Is...
-
くだらない質問とはなんでしょ...
-
「データ」のスペルはdataとdat...
-
Yahoo知恵袋の回答が心無いもの...
-
LINEで、質問されたから答えた...
-
一般常識が無さすぎて自信をな...
-
何度も同じ事を言わせる人は何...
-
チェーンソーの耐用年数
-
縫合糸の号数表示について
-
接骨院の受付事務 訳が分から...
-
太陽光発電での全量売電から余...
-
本当に下らないのですが、オ、...
-
看護学生です。 明日から実習が...
-
「優しい方」って書き方、イラ...
-
1合って何リットル?
-
【ISO?】標準類とは何ですか?
-
質問したことに少しズレた回答...
-
会計用語で"Plug"とは?
おすすめ情報