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- 回答日時:
私はシリコンが専門ではありませんが、同僚はフッ硝酸やSH(硫酸+過酸化水素)、王水(塩酸+硝酸)などで洗浄していたと思います。
こうした洗浄方法は、基板自体は溶かさない、もしくは、基板の極表面を薄く酸化させて、その酸化膜ごと表面の異物を取る、という考えに基づいています。
そして、表面を酸処理すると、一般にラフネスは悪くなります。
基板の特定の部分に穴を開けて、特定の結晶面を出す異方性エッチングもありますが、基板の表面全体を平坦にするのは難しいのではないでしょうか。
出来るだけ平坦なシリコン基板を用意したい場合は、表面をメカノケミカル研磨するしかないと思います。
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