薄膜のヤング率と内部応力、硬度の関係を教えて下さい。

TiN膜をスパッタリングで成膜しております。厚さは５μｍ程度です。
薄膜の硬度とヤング率、内部応力を全ての基板において測定しております。
硬度が高いと内部応力が高く、ヤング率も高い傾向が見られますが、ヤング率の値の変化はまちまちです。
薄膜のヤング率と内部応力、硬度の関係を教えて下さい。

No.1 回答者： ginlime 回答日時： 2016/08/22 14:12

薄膜の物性は密度や表面粗さや基板との接着性など

種々のパラメーターが影響しますので詳細は第2版の
薄膜ハンドブックを参照してください。
http://shop.ohmsha.co.jp/shopdetail/000000000986/
物性測定の具体的な方法も記載されています。
再現性のある物性値が求められると良いと思います。