
No.1ベストアンサー
- 回答日時:
ダイヤ不ラム真空計の商品名ですね
ダイヤ不ラム真空計とは真空にたもった容器の一部に張ってある薄い金属膜(ダイヤフラム)が測定する雰囲気の真空度に応じて変形する変形量をひずみ計で測定し、真空度とするものです。バラトロンとはイギリスの会社の当該製品の商品名であり、温度補正などが自動でなされ精度、再現性ともに優れもの。また雰囲気に接するダイヤフラムの材料の選定すると腐食雰囲気でも使用できます。大気圧から低真空領域で使用が可能です。欠点センサーふくめ高い。
No.2
- 回答日時:
No1さんの回答に追加です。
カタログでは、10^-2Paぐらいの低真空から大気圧までの測定範囲の製品が揃っていますので、目的の範囲のセンサーを調べ、コントローラーと一緒に購入となります。
低真空領域だとピラニー真空計もポピュラーですが、1Paあたりから高圧側は測定ガス種による誤差が大きくなるらしいので、バラトロンの方が信頼性が高いと聞いています。
安いコントローラーにすれば、値段はピラニーより少し高い程度じゃないでしょうか。
あと、ピラニーなんかよりはセンサーのサイズが大きいので、スペースの無いシステムへの取り付けには注意した方が良いです。
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