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A 回答 (2件)
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No.2
- 回答日時:
かなり高速の動作なのでフィードフォワード制御の方が良いように感じますが・・・ 最近はフィードバック制御(フルクローズド制御)自体があまり使われていないのでかなり特殊になりそうです。
No.1
- 回答日時:
hide2066 さん、今晩は。
圧電アクチュエータにフィードバック制御用電極があるという前提で、
高電圧アンプ(ドライバ)、オペアンプ、正弦波発振器
1ミクロンの精度を出せというのに回答するためには、圧電アクチュエータの仕様が判らないと出来ません。
この回答への補足
esezouさん,返答ありがとうございます.
私の説明不足でした.使用している圧電アクチュエータはスタックタイプで,フィードバック制御用電極などはなく,圧電素子に絶縁コーティングが施されているだけです.また,公称ストロークは20ミクロンのものです.ピエゾメカニクス社のものです.
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