residual birefringence

「residual birefringence」の概念が理解できず困っています。
最近化学系の会社からスパッタリングプロセスサービスを提供する会社に転職し勉強中の者ですが、顧客から「residual birefringenceを貴社で測定できるか？」と聞かれ、birefringenceの意味は理解したつもりですが、residual+となると検索しても応用例しか見あたらず、悶々としています。

１）residual birefringenceを日本語にすると何になるのでしょうか？
２）これを理解するための何か良い方策はあるでしょうか？

現在アメリカに居住しており日本語の書籍にはたどり着きがたく、web等で何か参考になるものをご存知でしたらご教示いただければ幸いです。

No.2 ベストアンサー 回答者： noname#11476 回答日時： 2002/03/24 19:47

Residual birefringence は残留複屈折は、要するに本当は複屈折がないことが理想にもかかわらず、複屈折が残っていることを指します。

しかし、スパッタリングプロセスということからイメージが掴めません。

もしかして、光学素子のコーティング関係ですか？
もしそうであれば、基盤にコートする時の基盤の検査のうちbirefringenceの計測が出来るという意味でしょうか。

簡単な測定器であれば、目視主体で測定する機器があります。
日本内では、ルケオが有名です。「歪み計」と呼ばれています。
http://www.luceo.co.jp/index2.html
単なる目視観測のものから、ある程度までの定量測定が出来る物まであります。

更に、高精度に計る場合は、HINDSのbirefringence meter が事実上業界標準となっています。レーザで高精度に測定可能です。
http://www.hindspem.com/

分野が異なると、上記回答は全く参考にならないかも知れませんが、光学素子であれば、上記の通りです。

では。

この回答へのお礼

ご教示いただいたサイトはとても参考になりました。
基盤というよりも、基盤にコーティングを行った後のSiO2やTiO2の表面状態に関する検査ができるかどうかという内容です。とりあえずのところは、顧客に対しての対応はできそうです（装置の有無についての返答はできそうです）。貴重な情報ありがとうございました。

お礼日時：2002/03/26 01:33

No.1 回答者： starflora 回答日時： 2002/03/23 10:09

　

　　residual birefringence は、「残留複屈折」というのが、日本語での言葉です。以下のＵＲＬの論文３２は、１９９０年ですが、ここですでに使われています。
　　＞http://www.ul.cad.mech.tuat.ac.jp/publication.html
　
　　また、以下のＵＲＬでは、残留複屈折を低減させる技術であると説明されています。ガラス・ディスクや、樹脂成形体、レンズなどに起こる複屈折で、何かの理由で残留するもののことではないでしょうか。
　　＞赤外線照射支援による 高分子精密射出成形法
　　＞http://www.campuscreate.com/theme/0001.html
　
　　レンズやディスクなどにおける、「残留応力による複屈折」のことではないかと勝手に想像しますが。つまり、レンズや透明ディスクを製作する時、原料が固化する時、応力によって歪みが残り、その結果、ディスクなどの複屈折特性が、残留応力によって変化乃至発生し、これを、「残留複屈折」と呼んでいて、ディスクやレンズなどに、残留応力による歪みがないか、「残留複屈折」を測定して確認したいということではありませんか。想像ですが。
　
　　「複屈折」などで、検索すると、何かページがあるかも知れません。「残留複屈折」だとサイトがあまりありません。検索技術次第かも知れませんが。「残留応力による複屈折」の可能性が高いので、その辺りで調べられたらどうでしょうか。英文サイトでも、residual stress と birefringence のキーワードで出てくるサイトはあります。
　　

参考URL：http://www.campuscreate.com/theme/0001.html

この回答へのお礼

ご回答ありがとうございました。説明が若干足りなかったようです。質問を改めて書き直すと「研磨してフラットになったガラスにスパッタリングでSiO2やTiO2の薄膜コーティングをするのですが、そのプロセス後の表面のresidual birefringenceを測定できるか？」という内容です。頂いたご回答内容を読んでいるうちに、なんとなく顧客のいわんとしている事がわかってきました。製品はディスプレーに使用するのですが、場所によって表面の色が変わったりする（ニュートンリングというのでしょうか）ことを気にしているのではないかと推測いたします。貴重な情報ありがとうございました。

お礼日時：2002/03/26 01:19