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半導体関係で、ArFエキシマレーザー とか、フッ化アルゴン
という、単語が出てくるのですが、この化合物の構造式を教えてください。

A 回答 (4件)

フッ化アルゴンは、アルゴンガスとフッ素ガスの混合ガス中で放電したときに生成する、不安定な二原子分子です。

この分子は、193nmの紫外光を発すると直ちにアルゴン原子とフッ素原子に解離してしまいますので、単離することはできません。

分子式は ArF です。放電により生成する状態が励起状態であることを明示するために、ArF* と書くこともあります。
この励起状態では、Ar原子とF原子が共有結合をしているというよりも、Ar+イオンとF-イオンがクーロン力で引かれ合ってイオン結合を形成しているらしいので[1]、構造式は Ar+―F- になるのではないかと思います。

[1] T.H. Dunning, Jr. and P.J. Hay, "The covalent and ionic states of the rare gas monofluorides" J.Chem.Phys. 69, 134-149 (1978).

参考URL:http://dx.doi.org/10.1063/1.436397
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この回答へのお礼

回答ありがとうございました。

けっこう、難しい状態の物なんですね。

ArFを一旦作って、
レーザー発光装置の中に、封じ込められてあるのでしょうか?

お礼日時:2007/10/18 20:32

> ArFを一旦作って、


> レーザー発光装置の中に、封じ込められてあるのでしょうか?

レーザー発光装置の中に封じ込められているのは、アルゴンガスとフッ素ガスとネオンガスの混合ガスです。
ArF はレーザー発光するたびにもとの Ar と F2 に戻りますので、作り置きはできません。

放電→ArFの生成→レーザー発光→ArFの消滅→休憩→放電→ArFの生成→レーザー発光→...

の繰り返しにより、パルス状のレーザーが断続的に装置から出力されます。
パルス幅や繰り返し周波数の値については、ネット検索で調べてみて下さい。
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Ar を励起させると, 例えば 1s2 2s2 2p6 3s2 3p5 3d1 のような電子状態になり (3d1 か 4s1 かは知りません), その結果 3p に 1個分の空きができるので F と結合できる... んじゃないかなぁ?


「基底状態に落ちると ArF は存在できないので, 完全な反転分布が実現できる」って書いてありますね.
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この回答へのお礼

回答ありがとうございました。

私の理解の範囲を超越しています。
単純な物ではないことを、認識しました。

お礼日時:2007/10/18 20:33

私自身が知っているのではありませんが、Wikipedia は参考になりませんか?



http://ja.wikipedia.org/wiki/アルゴン#.E5.8C.96.E5.90.88.E7.89.A9
http://ja.wikipedia.org/wiki/アルゴンフッ素水素化物

参考URL:http://ja.wikipedia.org/wiki/アルゴン#.E5.8C.96.E5.90.88.E7.89.A9,http://ja.wikipedia.org/wiki/アルゴンフッ素水素化物
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