幼稚園時代「何組」でしたか？

薄膜の密度測定方法

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  • 質問者：help33
  • 質問日時：
  • 回答数：1件

ガラス基板、多孔質体上に薄膜を成膜しているのですが、
薄膜のみの密度を測定することは可能なのでしょうか？
教えてください。

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A 回答 (1件)

No.1ベストアンサー

  • 回答者： p_zew
  • 回答日時：

Ｘ線反射率測定法(GIXR)なら可能じゃないでしょうか？（参考URL参照）


もちろん薄膜の材質、膜厚にもよると思いますが・・・・。

受諾分析機関に問い合わせてみてはいかがでしょうか？

参考URL：http://www.nsg-ntr.com/TIME/xrd-01.htm
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この回答へのお礼

ご回答ありがとうございます。Ｘ線反射率測定法について調べてみます。

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お礼日時：2008/04/21 22:39

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