No.1ベストアンサー
- 回答日時:
XPSはX線光電子分光法の略で、ESCAという呼び方もありますので、
こちらでも調べてみてください。
さて、実際に装置で分析をしてみたことがありますでしょうか?
XPSは名前の通り、試料にX線をあて、出てきた電子のエネルギーを
調べます。
X線のエネルギー - 電子のエネルギー = その電子が飛び出してくるのに必要なエネルギー
ということで、それがわかれば、元素がわかるし、その量の割合がわかれば、
各元素の比”atom %”がわかる訳です。
ただ、同じ量のX線をあてても、出てくる電子の量は違います。これを補正するのが、
Sensitivity Factorで、分析装置のPCの中にデータが入っているはずです。
それから、もともと微量だったり、電子の出にくい元素の場合、強度が弱くなるので、
分析回数を増やしたりします。
まず、生データは横軸エネルギーで縦軸は強度ですよね。この面積が"area"。
これに分析回数などの分析条件を考慮に入れる必要があります。
例えば、強度が弱いから他の元素の10倍の回数分析すれば、実際はareaを10で
割ってやる必要があるということです。そして、それにSensitivity Factorを
掛けた(割った?)ものが、"relative area"。そして、その"relative area"
から”atom %”が計算されるのです。
以上
この回答へのお礼
お礼日時:2002/11/16 17:25
補正を考慮にいれて計算されたものが
"relative area"というわけですね。
これからSensitivity Factorについて
調べてみようと思います。
回答ありがとうございました。
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