真空蒸着とスピンコート

タイトルにあるような薄膜の形成方法について調べる方法を教えてください。具体的に参考HP、参考文献、論文等を教えていただけるとありがたいです。宜しくお願いします。

No.2 回答者： sanori 回答日時： 2009/07/06 04:54

こんにちは。

「半導体（ＬＳＩ）の製造工程（製造プロセス）」みたいなタイトルの本を調べると、
真空蒸着（ＣＶＤ、スパッタ）のことは、確実に書いています。
ただし、薄膜のスピンコートのことを書いているかどうかは保証できません。

ですから、スピンコートのことを書いているＬＳＩ製造工程の本を探すとよいでしょう。
ただし、レジストのスピン塗布ではダメで、絶縁膜や半導体物質などのスピンコートでなくてはいけません。


ご参考になりましたら。

No.1 回答者： noname#89072 回答日時： 2009/07/06 01:03

この辺

http://www.google.co.jp/search?hl=ja&q=%E8%96%84 …

から形成方法の名称を調べ上げ、次にそれをキーワードに検索。
より詳しい文献が出てるようならなるべくそれを読む。