膜厚の測定について

膜厚の測定について

下のURLのピークバレー法のところに
次のように書いてあります。

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測定された分光反射率値のピーク及びバレーの周期性から
膜厚を算出する方法で、単層膜測定に有効です。複雑な設
定が不要のため、簡単に求めることができます。
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ここで言う”分光反射率値”とはなんでしょうか？
また、どうして周期性から膜厚が求まるのですか？

http://www.olympus-ims.com/ja/metrology/lens-spe …

No.1 ベストアンサー 回答者： kendosanko 回答日時： 2012/07/09 02:19

波長λと干渉角θと結晶格子の間隔d

の間の関係を与える
ラウエの結晶格子の実験と
原理は同じなのでは。

結晶格子の間隔dを
薄膜の厚さに置き換えれば。