キーエンスの接触式変位センサについて

キーエンスの接触式変位センサについてです。
AT-Vシリーズのものがほしいのですが、表示される単位は何でしょうか？
確か、0.0000くらいまで表示があると思います。

また校正をとる、具体的な方法を教えて頂けたら幸いです。

よろしくお願いします。

No.1 ベストアンサー 回答者： premacy2007 回答日時： 2013/04/20 17:57

測定レンジよりますが0.1μmまで表示可能のものもあります。

表示単位はmmです。
また測定精度はフルストロークで±0.05％。

校正をとる方法はいろいろあるでしょうが、
測定のたびに測定器の正確さを毎回確認するという程度でしたら、
かつ、測定室のような恒温状態が用意されてるのでしたら、
ブロックゲージを2種（大小、測定対象物の大きさをカバーする範囲）
用意しておき、校正の取れた測定器であらかじめ測定し、
それの値が測定精度内かどうかで確認すればよいと思います。

ブロックゲージは鉄製でもかまわないとは思いますが。
セラミックス製なら低熱膨張で、キズなどに強いので校正用には
丁度よいと思います。