No.1ベストアンサー
- 回答日時:
シリコンウェハーの伝導度にすごく透過率が依存します。
キャリヤ吸収!厚さ0.5mmのp型Siで、波数4000-400cm-1の範囲で、
20Ωcmのものは、大よそ50%透過します。
反射も50%くらいなので、Siウェハーによる吸収はほぼゼロです。
ただし、CやO不純物の吸収がある領域では透過率が下がります。
一方、同じ厚さでも0.02Ωcmのものは、3000cm-1以下で透過率が0.5%以下です。
これは2004年のVacuumの論文に載っていました。
この回答へのお礼
お礼日時:2006/09/28 15:40
ご回答ありがとうございます。
伝導度が透過率に依存する事は知りませんでした・・・。
勉強不足でお恥ずかしい限りです。
参考にさせていただきます。
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