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レジスト関係の資料を読んでいて、
DBARC(Developable Bottom Anti Reflective Coating)
BARC's(Bottom Anti Reflective Coating)
CD(Critical dimension)
の意味がよく分かりません。
日本語に訳すと、「裏面反射コーティング」なのでしょうか?
専門的な呼び方がありますか?
調べても分からなかったため、どうぞ宜しくお願いします。

教えて!goo グレード

A 回答 (1件)

こんばんは。


半導体関連の元・開発技術者です。

BARCは、フォトレジストの下に反射防止のために設けられた層のことです。
たとえば、配線用の金属層としてアルミを使うとき、アルミは反射が激しいため、ハレーション(光のにじみ)により、露光・現像後のレジストパターンを思ったとおりにすることが難しいです。
そこで、アルミとフォトレジストとの間に、薄い反射防止層(=BARC)をコーティングしておけば、露光・現像後のパターンの精度が向上します。


DBARD、すなわち、現像可能なBARCとは、
現像時にフォトレジストと一体で熔けてくれるBARCのことでしょう。おそらく。


CD(Critical Dimension)の dimension は、サイズのことですから、
要は、
「このサイズより小さいのはダメ、大きいのはOK」
または
「このサイズより小さいのはOK、大きいのはダメ」
ということです。
この分野に限らず、多方面で使われる言葉だと思いますし、文脈もわかりませんので断言はできませんが、
フォトレジストパターンを正常にできる、ぎりぎりの大きさということなのでしょう。


資料の中の文章を勝手に推測しますと、
BARCを使うことによりCDが小さくなり(=良くなり)、DBARCだと、さらに小さくなる(=良くなる)、
というような文章ではありませんか?


>>>専門的な呼び方がありますか?

業界の人間は、ほとんど、頭文字での略称のまんまで使いますから、
特に和訳はなくて良いと思いますが、
私がこの関係の仕事をしていた頃は、BARCのことを「反射防止膜」と呼ぶこともありました。



BARCのわかりやすい説明図が載っているサイトを見つけました。
http://www1.ocn.ne.jp/~raichi/test/raichi/tpl/tp …
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この回答へのお礼

詳しく説明して頂きましてありがとうございました。
勉強をし始めたばかりで専門用語が分からなくて困っていました。
とてもよく分かりました。

お礼日時:2008/07/14 00:48

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