No.1ベストアンサー
- 回答日時:
EPMA, SEM, WDSという言葉をご存知なのですから,略語の説明は
無くてもよろしいですね。
EPMAはWDSを付けたSEMという認識は間違ってはいないと思います。
両者は,これまで装置の構造,電子銃などで区別されてきたものでは
ありましたが,最近では単純には割り切れなくなっています。
EPMAは特性X線の波長分散を分光結晶を利用して得ているために
チャンバーが巨大であり,これが通常のSEMと区別される最大の
特徴となります。一方,より空間分解能の高いSEMにはFE電子銃が
搭載されており,これらのことが両者を区別するよりどころと
なっていました。つまり,EPMAが有するSEM機能は,簡易型の
SEM程度というのが一般的でした。
EPMAでW電子銃を使うことが多いのは,特性X線の広がりがμmオーダ
となりますので,空間分解能を高くしても意味が無いという理由に
よりました。この理由については現在でも変わったわけではないの
ですが,最近ではFE-EPMAというものも出現してきて,両者の垣根が
低くなったようです。ナノスケールの薄膜など,観察対象の幅が
広がって来たり,FIBによるサンプリングが容易になってきたことも
関係しているでしょう(試料が薄ければ特性X線の広がりはあまり
大きくはなりませんので,空間分解能を追求する意味が出て来ます)。
WDS機能に空間分解能を求めたというよりも,WDSとして軽元素までの
分析する能力を備えるとともに,空間分解能の高いSEM観察も可能で
あるという一挙両得的に捉えることもできると思います。
蛇足ですが,FIBにSEM機能が付加されたり,STMにSEM機能が付いたり
する例が結構あるようです。
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