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EPMAとEDXの違いが分かりません。
ともに、定性、定量、マッピングなどが出来ると思いますが、測定原理などが大きく異なるのですか?

A 回答 (2件)

EPMAは英語で書くとElectron Probe MicroAnalysisです。

つまり電子を
入射して分析を行うという意味です。検出するのは特性X線です。

特性X線の波長(=エネルギー)は元素によってすべて異なります。
したがって,特性X線の波長が分かれば電子線が照射された元素の種類が
同定できるわけです。ただし1つの元素が放出する特性X線は,通常
1種類ではありません。元素にはK殻,L殻,M殻,・・・というように
エネルギーレベルの異なる様々な電子軌道が存在しますので,それぞれの
軌道の発生する特性X線は異なります。複数の元素が存在する場合には
これらの特性X線が重なりあうように放出されますので,波長が近い場合
には,元の元素を特定するのが難しくなります。そのため,複数の元素比
などを求めたい場合には,1つの元素が放出する複数の特性X線を用いる
必要があります。

特性X線は光と同じ電磁波です。ですから分光が可能です。分光結晶を
プリズムのように用いれば,波長の異なる特性X線の放出角度が変えられ
ます。この位置情報を検出器で計測するのがWDSまたはWDXと呼ばれる
手法(波長分散型分光)です。検出したい元素によって検出器の角度を
変えなければなりませんが,特性X線が重なり合うように放出されても
精度よく分解できますので,定量性に優れ,微量な元素や軽元素の検出
に威力を発揮します。ただし測定には時間がかかります。狭義では,
WDSだけをEPMAと呼ぶ場合がありますが,原理と英語の意味を考えれば,
WDSとEDSはどちらもEPMAと呼んで差し支えありません。

波長にプランク定数を乗算するとエネルギーとなりますので,波長では
なくて,エネルギーを検出することでも特性X線を放出した元素の種類が
分かります。これがEDSまたはEDXと呼ばれる手法(エネルギー分散型
分光)です。WDSのようなデータの信頼性はありませんが,一度に多くの
元素を同定でき,測定時間も比較的短いので,2次元的な元素マップなど
の定性的な分析に威力を発揮します。WDSのように分光結晶や回転機構
などの特殊な装置が不要で,通常のSEMに検出器をつけただけで測定
できるという手軽さも利点でしょう。
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この回答へのお礼

詳しい説明ありがとうございます。

お礼日時:2006/03/04 20:10

ええ。


私も同じだと思ってました。

しかし、念のため調べてみたら、
「EDXは、EPMAのうちの1つ」
ということがわかりました。

EPMAには、EDXとWDXの2種類があるそうです。

http://tri-osaka.jp/group/kikaikinzoku/hyoumen/s …


http://www.dent.niigata-u.ac.jp/epma/edxwdx.html


http://www.dent.niigata-u.ac.jp/epma/EPMA.html


お蔭様で勉強になりました。(笑)
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この回答へのお礼

私も勉強になりました。
ありがとうございます。

お礼日時:2006/03/04 20:09

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無くてもよろしいですね。

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両者は,これまで装置の構造,電子銃などで区別されてきたものでは
ありましたが,最近では単純には割り切れなくなっています。
EPMAは特性X線の波長分散を分光結晶を利用して得ているために
チャンバーが巨大であり,これが通常のSEMと区別される最大の
特徴となります。一方,より空間分解能の高いSEMにはFE電子銃が
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重量比ならば、たとえば分析したサンプルを液体サンプルにして測定する場合の想定濃度の参考にできます。
サンプル○グラム中の元素の重量が分かるわけですからね。
(液体分析の場合は、mg/Lを使うことが多いので、重量比が分かっていると分析の目安が付けやすいのです。)

原子数比ならば、そのサンプルの化合物の推測に使えます。
たとえば、Fe(鉄)とS(硫黄)が原子数比で1:1ならば、FeS(硫化鉄)だろうと推測できます。
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上記の通り、液体分析にかけたい人なら重量比、化合物同定したい人なら原子数比が必要になると思いますし。

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(X線蛍光の分析データをそのまま受け渡す機能を持つ機種もあるくらいです。)

以上、ご参考まで。

EDS、エネルギー分散型X線蛍光分析のことでよろしいでしょうか。

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