社会人&学生におすすめする色彩検定の勉強術

論文を読んでいたら、装置の名前の一部に「ロードロック」というのがでてきました。
インターネットで調べたのですが、どうも装置の名前の一部として当たり前のように使われており、ロードロック自体が何なのかよく分かりません。

エッチング装置などに使われているロードロックとは何ですか?
教えてください。

教えて!goo グレード

A 回答 (1件)

 その論文の詳細が分かりませんので、間違っていたら


ごめんなさいね。

 ロード(道)をロック(閉める)装置の一般
名称です。具体的にどうゆうものかは装置に
よると思ますが。

 例えば真空蒸着をするとき、サンプルを入れ替えるのにいちいちチャンバー(ケース)を開けて真空を
破っていたのでは効率が悪いので、サンプルを
出し入れするためのチャンバーをもう1つ用意しておき、
これと蒸着用チャンバーを太いパイプで
繋げておきます。

 このパイプの中には外部から操作できる
小さな気密開閉扉(ロードロック)があります。

 サンプル交換用チャンバーにサンプルを入れ、
前のサンプル蒸着中に真空度を上げておきます。

 真空度がある程度上がってから、ロード
ロックを開き、サンプル移動用のアームで、
交換用チャンバーからサンプルを蒸着用
チャンバーに移すといった具合です。
 
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この回答へのお礼

早速の回答ありがとうございます!
しかも、分かりやすいです。

論文に載っていたのはエッチング装置でしたが、ロードロックについては同じだと思います。

余談ですが、遠い昔に授業で教官がそんな説明をしてた事も思い出しましたヾ(-_-;)

本当にありがとうございました!!
m(__)m

お礼日時:2003/04/28 00:07

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