ロードロックとはなんですか？

論文を読んでいたら、装置の名前の一部に「ロードロック」というのがでてきました。
インターネットで調べたのですが、どうも装置の名前の一部として当たり前のように使われており、ロードロック自体が何なのかよく分かりません。

エッチング装置などに使われているロードロックとは何ですか？
教えてください。

No.1 ベストアンサー 回答者： apple-man 回答日時： 2003/04/27 23:50

　その論文の詳細が分かりませんので、間違っていたら

ごめんなさいね。

　ロード（道）をロック（閉める）装置の一般
名称です。具体的にどうゆうものかは装置に
よると思ますが。

　例えば真空蒸着をするとき、サンプルを入れ替えるのにいちいちチャンバー（ケース）を開けて真空を
破っていたのでは効率が悪いので、サンプルを
出し入れするためのチャンバーをもう１つ用意しておき、
これと蒸着用チャンバーを太いパイプで
繋げておきます。

　このパイプの中には外部から操作できる
小さな気密開閉扉（ロードロック）があります。

　サンプル交換用チャンバーにサンプルを入れ、
前のサンプル蒸着中に真空度を上げておきます。

　真空度がある程度上がってから、ロード
ロックを開き、サンプル移動用のアームで、
交換用チャンバーからサンプルを蒸着用
チャンバーに移すといった具合です。
　

この回答へのお礼

早速の回答ありがとうございます！
しかも、分かりやすいです。

論文に載っていたのはエッチング装置でしたが、ロードロックについては同じだと思います。

余談ですが、遠い昔に授業で教官がそんな説明をしてた事も思い出しましたヾ(-_-;)

本当にありがとうございました!!
m(__)m

お礼日時：2003/04/28 00:07