No.1ベストアンサー
- 回答日時:
熱プラズマしか扱ったことのないシロウトなもんで,たぶん,はずしていると思いますが・・・
プラズマ電流を測る方法は,2種類あります。ひとつはDC,あるいはRFなど印加する電力から実効電力量として間接的に求める方法ですが,マイクロ波プラズマでは,この方法はつかえませんね。
プラズマ自体にプローブを挿入して直接的に測るしかないと思います。以下のHPなどを参考に,原理を学んでください。
http://www.tec.nagano-nct.ac.jp/original/seeds/s …
プラズマ密度に関して,これも直接プラズマガスを採取して,プローブ内採取ガスのエンタルピー変化を利用して計測する方法があります。インタネットで検索すれば出てくると思います。数十年前に,日本高周波からOEMで出ていました。
直接の計測ができない場合は,シミュレーションにてと言うことになりますが,これについては,また,改めてご質問ください。
参考URL:http://www.tec.nagano-nct.ac.jp/original/seeds/s …
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