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No.2ベストアンサー
- 回答日時:
ベーキングの方法は使用されてるメーカーか又は代理店に聞かれるのが最も確実です。
その際使われてる排気装置の型名等を間違いなく提示してください。
たぶんメーカーはアルバックとかアネルバとかだと思いますので、サービス網もあったはずです。
又一般的な話ですが、チャンバーを電解研磨し表面からの脱離ガスを少なくするとか、フランジのガスケットをOリングから銅にするとか、という事も考えてはどうでしょうか?
更にtorrは現在SI単位系統一の為Pa表示が一般的ですが、真空計(特にセンサー)が悪いという事は考えられませんか?
No.1
- 回答日時:
初歩的なこととなので,恐らく大丈夫だとは思いつつ,
私,以前下記のようなことがありました.
大気中とのインターフェースを設けている場合,
導線やファイバの皮膜の間からリークします.
私は以前,真空度上がらない何故だ?,と思ってふと見ると,
光ファイバをインタフェースを介して直接チェンバ内に導入していたのですが,
そこからリークしていました.
そこにアロンアルファを垂らすとシュッと吸い込まれ,
中で固まったようで,それ以後は改善されました.
皮膜導線の場合は,インタフェースでは銅棒を使用します.
蛇足まで...
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