酸化膜厚の測定方法

金属表面の酸化膜厚を測定したいのですが、どうしたらいいのでしょうか？X線で測れるらしいと聞いたのですが。
宜しくお願いします。

No.3 回答者： parker89jp 回答日時： 2003/11/13 16:05

切断してもいいのでしたら、

金属等の分子を見る方法ですが、
エポキシ樹脂に漬けかため、小さく切って切断面研磨→電子顕微鏡で観察　ではいかがですか？
　

No.2 回答者： nostalgy 回答日時： 2003/11/13 08:17

こんにちは。

半導体（シリコンウエハ）では
たとえば拡散工程で酸化膜厚測定する際
ナノスペック装置で測定したり
あるいはエリプソという装置で測定したりします。

ご質問の回答になっていなくてごめんなさい。。

No.1 回答者： noname#21649 回答日時： 2003/11/13 03:59

ラフな測定としては.

単に回折強度を計れば.ベース金属のピーク強度に対して.酸化金属のピーク強度の比で膜が厚い・薄いがわかります。ただ.酸化膜の結晶方向がそろっている場合が多いのでＡＳＴＭカード（最近名称が変わりました。新名所上忘却）の通りの回折強度を示さないのが普通です。

また.透過型X線写真が取れれば.ある程度の錆のあつさになれば.透過線量が増加します。

ヘリウムガス中で蛍光Ｘ線を測定すると酸素の影響が観察できるときもありますが.検出器（普通の検出器に比べてやたら高かなのであるところが少ない）がありますか。

あまり薦めない（検出器を壊すときがある）のですが.Ｘ線しょうかく散乱を測定することで.膜をつくるりゅうしの大きさを求めることができます。粒子が金属に直接付着しているのであれば.粒子系が膜圧になります。