(真空)液体材料TEOSについて(虫食い)

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質問者：anagoinago
質問日時：2014/02/14 10:20
回答数：1件

(1)、(2)に入る組み合わせをa～dから選びなさい。

液体材料TEOS(テトラ・エチル・オルソ・シリケートモル質量：208g/mol)は気化された後、プロセス室へ供給される。気化したTEOSが240sccmでMFCへ流れるように調整。1プロセスが10分とすると1プロセス(1)molのTEOSを消費する。

タンク内のTEOSの質量が6240gの時、このプロセスを(2)回行うとタンクは空になる。

(1)
a. 1.783x10^-3
b. 0.107
c. 0.107
d. 1.783x10^-3

(2)
a. 16800
b. 16800
c. 280
d. 280

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回答 (1件)

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No.1ベストアンサー

回答者： gohtraw
回答日時：2014/02/14 19:14

SCCMは標準状態のガスが一分間に流れる量（ｃｃ／分）ということかと思います。

２４０ＳＣＣＭで１０分流すと２４００ＳＣＣＭ、つまり２．４ノルマルリットル（Ｎｌ）です。
１モルは２２．４　Ｎｌですから、２．４Ｎｌは
２．４／２２．４≒０．１０７　モル
となります。

０．１０７モルのＴＥＯＳは
０．１０７＊２０８≒２２．３　ｇ
ですから、６２４０ｇのＴＥＯＳを使い果たすまでには
６２４０／２２．３≒２８０　回
のプロセスが可能です。