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No.2
- 回答日時:
ラジカルかイオンか確か両方あると思います。
工業界ではフッ化アルゴンというガスを結構使っていますし。
またスパッタリングによる金属薄膜の形成にはArを高エネルギーのRFで
真空中で電離させ、イオンにして、スパッタリングガスとして用いているようです。
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