A 回答 (3件)
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No.3
- 回答日時:
参考までに,僕が使用しているAlエッチング液は,リン酸:硝酸=4:1です.
Al蒸着膜の厚さは測ったことありませんが,15秒間蒸着していますので,厚さはそんなには変わらないと思います.
これで約5分間エッチング液につけておくと,マスクを残して綺麗にエッチングされていますよ.
ただ,蒸着時にフィラメントに流す電流が少なかったりすると,エッチングがかなり速く,フォトマスクも一緒にはがれてしまっています.
この電流値は装置によって違うと思いますので,残念ながら具体的には表現できませんけどね.
No.2
- 回答日時:
そんなことは初めから知っていると言われそうですが・・・
Alが溶ければいいのなら水酸化ナトリウム水溶液ですぐ溶けます。
これでフォトマスクとかがどうなるかはわかりません。
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