「ブロック機能」のリニューアルについて

はじめまして。
ウェーハには結晶方位があり、111面、110面、100面があると聞いていますが、これは1枚のウェーハに3つの結晶方位があるのですか?
※X軸、Y軸、Z軸みたいな感じ???
それとも111面のウェーハ、110面のウェーハ、100面のウェーハがあって、1枚につき、結晶方位は1つなのでしょうか?
よろしくお願いします。

教えて!goo グレード

A 回答 (1件)

シリコンウェハで言うところの結晶方位というのは、ウェハ表面ないしは法線に対する方位を示していて、それは1通りだけです。


111面のウェハ、110面のウェハ、100面のウェハがそれぞれ別々に販売されています。
かつては、511面のウェハも使われていました。

「111面、110面、100面」という言葉自体は、単に、1つの結晶を色々な角度から見たときの結晶方位を表すものです。
ですから、結晶状態にあるものには、すべて、111面、110面、100面、511面、そのほかにもたくさん(無限に)あります。
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この回答へのお礼

ご回答ありがとうございます。
すごくわかりやすかったです。

お礼日時:2007/05/31 17:36

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