No.2ベストアンサー
- 回答日時:
まず、BARCはレジストを塗布する前に、塗布します。
それで、露光、現像するとレジストパターンの下にBARCが
あるという状態ですね。材質としては、レジストと似たような
有機膜が一般的です。
というわけで、次はエッチング工程ですよね。なので、エッチング
の最初にBARCをエッチングするステップを追加することになります。
ステップと言ったのは、その下のエッチング工程で、同じ装置で連続
してエッチングするのが普通だからです。
以上
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